Die M-Serie ist die ultimative Hochleistungs-Schichtdickenmessung für kleinste Merkmale. Die Polykapillaroptik der M-Serie ist weiter entwickelt als die O Serie, wobei der Röntgenstrahl auf 7.5 μm FWHM fokussiert wird. Um Merkmale in dieser Größenordnung zu messen, ist eine Kamera mit 140-facher Vergrößerung und einem noch höheren Digitalzoom enthalten. Das Sichtfeld wird bei höherer Vergrößerung enger, so dass eine zweite Kamera eine Makroaufnahme des zu messenden Teils macht. Das Dual-Kamera-System ermöglicht es dem Bediener, das gesamte Teil zu sehen, auf das Bild zu klicken, um es mit der High-Mag-Kamera zu vergrößern und das zu messende Merkmal genau zu bestimmen.

Mit dem hochpräzisen programmierbaren XY-Tisch können mehrere Punkte ausgewählt und gemessen werden; die Mustererkennungssoftware kann dies auch automatisch tun. Es gibt ein 2-D-Kartierungssystem, mit dem man die Topographie einer Beschichtung auf der Oberfläche eines Bauteils wie z.B. eines Siliziumwafers sehen kann.

Die Standardkonfiguration umfasst die 15-μm-Optik und einen hochauflösenden LSDD-Detektor zur Verarbeitung der höheren Zählraten. Ein programmierbarer XY-Probentisch ist ebenfalls Standard. Das optische System hat eine kurze Brennweite, daher müssen die mit der M-Serie gemessenen Proben flach sein.

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