Metallische Beschichtungen auf Glassubstraten

Glas ist ein vielseitiges und vielversprechendes neues Substrat mit Vorteilen für viele Anwendungen. Glas ist ein stabiles Material, das flach und glatt ist und eine verzerrungsfreie Oberfläche aufweist. Im Vergleich zu Keramik- und Siliziumsubstraten ist es nicht nur ein hervorragender Isolator, sondern weist auch eine geringere Verformung, einen geringen elektrischen Verlust und eine hohe Temperaturwechselbeständigkeit auf.

Es entwickelt sich zu einem beliebten Substrat für fortschrittliche elektronische Verpackungen wie Interposer, RDL und TGV sowie für HF-Kommunikation und optische und bildgebende Sensoren. Für die Halbleiterindustrie müssen neue Lösungen und Verbesserungen an Prozessen wie Glashandhabung und Durchkontaktierung/Metallisierung vorgenommen werden, um Glassubstrate vollständig zu übernehmen. Auch die Inspektion von Glas kann aufgrund seiner Transparenz und stark reflektierenden Oberfläche eine Herausforderung darstellen.

Röntgenfluoreszenz (RFA) ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Methode zur genauen Messung der Dicke und Zusammensetzung von Metallablagerungen auf Glassubstraten. Alle RFA-Systeme von Bowman sind mit Siliziumdriftdetektoren (SDDs) ausgestattet, die mehrschichtige Dünnfilme messen können. Darüber hinaus ist die RFA zerstörungsfrei und benötigt nur eine minimale Zeit für die Probenvorbereitung, insbesondere im Vergleich zu Methoden wie Querschnitten und REM. In Kombination mit der optionalen Systemautomatisierung kann die RFA vollständig in aktuelle Produktionslinien integriert werden.

Lesen Sie unseren Anwendungshinweis für Beschichtungen auf Glas, um mehr über die Anwendungsleistung zu erfahren.