Bowman ist der führende Hersteller von Weltklasse, Amerikanisch hergestellt RFA-Instrumente für Halbleiteranwendungen
Keine Branche hat sich so weiterentwickelt wie Halbleiterbauelemente. Die Nachfrage der Verbraucher nach kleineren, schnelleren, billigeren und zuverlässigeren Geräten erfordert ständige Neukonstruktionen. Bowman hat seine Strategien angepasst und verfeinert, um diesen Anforderungen gerecht zu werden.
Bowman hat 3 Modelle entwickelt für die Arbeitsumgebungen der Wafer-/Verpackungsindustrie. Diese Modelle sind die O-, M- und W-Serie. Sie repräsentieren eine breite Palette von Chassisgrößen, Probentischgröße und -weg, Röntgenspotgröße, Videokameras und andere Funktionen.
Alle 3 verfügen über diese wichtigen Standardfunktionen:
- Überlegene eng gekoppelte Geometrie Anordnung der Röntgenröhre und des Detektors, die eine mehr als dreimal höhere Photonenzahl im Vergleich zu Konkurrenzgeräten bietet. Dadurch erreichen Bowman-Systeme niedrigere Nachweisgrenzen und eine höhere Präzision bei kürzeren Messzeiten.
- Robuste Röntgenröhre – das zuverlässigste der Branche! Stabile, langlebige Röhre mit geringerem Heizstrom. Innovatives Design minimiert Spotpositionsdrift, der durch Temperaturänderungen im Laufe der Zeit verursacht wird.
- µ-Spot-Polykapillaroptik mit Strahlgrößen von 80 µm bis 7.5 µm FWHM für die Analyse kleiner Merkmale. Erreicht einen mehr als hundertmal höheren Fluss als ein Kollimationssystem bei gleichem Abstand von der Quelle.
- Hochpräziser programmierbarer Probentisch mit einer Vielzahl von Größen- und Verfahroptionen von bis zu 600 mm x 600 mm Verfahrweg und einer Genauigkeit von bis zu +/- 1 µm für schnelle und wiederholbare automatisierte Messungen für eine Vielzahl von Probengrößen
- Hochleistungs-SDD-Detektor mit Graphenfenster für höchste Empfindlichkeit und Auflösung. Leichte Elemente wie Aluminium und Phosphor sind bereits bei geringen Konzentrationen nachweisbar. Hervorragende Wiederholgenauigkeit auch bei sehr kurzen Prüfzeiten.
- Erweiterte Software ist einzigartig benutzerfreundlich; eine stabile, bewährte Plattform für alle Bowman-Modelle.
- Compliance mit ASTM B568, DIN 50987, ISO 3497 und IPC 4552/4556
Intuitive, funktionsreiche Software
Die Software-Schnittstelle ist was ermöglicht Bedienern, das Beste aus einem XRF-System herauszuholen. Bediener haben mehrere Aufgaben zu erledigen, und der Kampf mit einem komplizierten Testprotokoll sollte sie nicht ausbremsen. Bowman entwickelte Software mit Blick auf den Bediener – und das macht den Unterschied!
- Die intuitivste Benutzeroberfläche der Branche. Entwickelt, um Fehler zu minimieren, ist es symbolgesteuert, mit anpassbaren Tastenkombinationen, flexibler Datenanzeige und -ausgabe und einem Ein-Klick-Berichtsgenerator.
- Voller Funktionszugriff ohne Einschränkungen. Die vollständige Software-Suite wird standardmäßig mit jedem System bereitgestellt. Es bietet unbegrenzten Zugriff zum Erstellen neuer Anwendungen oder Rezepte; keine zusätzliche Software erforderlich.
- Schichtdicke, Legierungs-ID und Lösungsanalyse Funktionen sind in ALLE Bowman-Systeme integriert, um die Analysekapazitäten von XRF zu maximieren. Messen Sie bis zu 5 Beschichtungsschichten, 30 Elemente in jeder Schicht und identifizieren Sie sogar den Legierungsgrad für die Metallsortierung. Analyse der Beschichtungsbadlösung ist eine schnelle Methode zur Konzentrationsmessung ohne Verdünnung, Verdauung oder Titration.
- Datenmanagement für sicheres und organisiertes Reporting. Alle Daten werden automatisch mit Zeit- und Datumsstempel gespeichert. Die Daten werden lokal gespeichert und können manuell oder automatisch in einen Netzwerkordner, SECS/GEM oder SPC-System exportiert werden. Anpassbare Excel-basierte Berichtsvorlagen und durchsuchbare Datenbanken ermöglichen das einfache Abrufen und Präsentieren von Daten.
- Laser-Autofokus ist der schnellste auf dem Markt. Die Z-Achse erreicht die Fokusposition in weniger als einer Sekunde und verhindert so eine Fehlplatzierung der Probe zwischen den Bedienern. Diese Funktion kann auf Mehrpunktprogramme angewendet werden, um Verzug im laufenden Betrieb auszugleichen.
- Fähigkeit zur Mustererkennung sorgt für eine perfekte Strahlzentrierung bei sehr kleinen Features. Feature-Bilder werden gespeichert und mit Anpassungen der Bühnenposition abgeglichen, was eine wirklich automatisierte Programmierung mit präzisen Messorten ermöglicht.
Bowman Semiconductor-Broschüre
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Hergestellt in den USA