Mayo de 2022 – Bowman ha introducido una adición importante a su conjunto de instrumentos XRF de precisión utilizados en las industrias de PCB, semiconductores y microelectrónica.
El Bowman A Series Micro XRF mide rápidamente las características más pequeñas en semiconductores y microelectrónica. Se adapta a paneles de PCB muy grandes y obleas de cualquier tamaño, para una cobertura de muestra completa y automatización programable multipunto.
La óptica policapilar enfoca el haz de rayos X a 7.5 µm FWHM, el más pequeño del mundo para el análisis de espesor de recubrimiento XRF. Una cámara de aumento de 140X mide características en esa escala; una cámara secundaria de bajo aumento proporciona visualización en vivo de muestras e imágenes de vista macro "a vista de pájaro". El sistema de cámara dual patentado de Bowman permite a los operadores ver la pieza completa, hacer clic en la imagen para hacer zoom con la cámara de gran aumento e identificar rápidamente la característica de interés.
Una platina XY programable con un movimiento de 23.6 mm (600 in) en cada dirección puede manejar las muestras más grandes de la industria. La platina tiene una precisión de hasta +/- 1 µm para cada eje y se utiliza para seleccionar y medir múltiples puntos; El software de reconocimiento de patrones Bowman y las funciones de enfoque automático también hacen esto automáticamente. La capacidad de mapeo 3D del sistema se puede utilizar para ver la topografía de ENIG, ENEPIG, EPIG y otros procesos de élite.
Los instrumentos de la serie A incluyen una óptica de 7.5 µm con un tubo de ánodo de molibdeno (cromo y tungsteno también disponibles) y un detector de deriva de silicio (SDD) de ventana grande y alta resolución que procesa más de 2 millones de conteos por segundo. Los SDD son el estándar, en toda la industria, para películas delgadas complejas. La capacidad de alta tasa de conteo es clave para lograr un límite mínimo de detección (MDL) bajo y la resolución espectral más alta.
Los sistemas de la serie A se distinguen porque están preparados para salas limpias, tienen el movimiento de etapa de semiconductores más grande del mercado y cuentan con el respaldo mundial de una red de servicio que brinda respuesta el mismo día para todos los requisitos de XRF de sobremesa. La evaluación, selección, puesta en marcha, mantenimiento y modernización de equipos está disponible para los usuarios de instrumentos Bowman, así como para otras marcas importantes de XRF.
Representación de la serie A para la incorporación con el manipulador de obleas automatizado