Bowman es el primer fabricante de clase mundial, de instrumentos Instrumentos XRF para aplicaciones de semiconductores
Ninguna industria ha evolucionado más que los dispositivos semiconductores. La demanda de los consumidores de dispositivos más pequeños, rápidos, económicos y fiables exige rediseños constantes. Bowman ha adaptado y perfeccionado sus diseños para ofrecer mediciones rápidas, precisas y repetibles de espesores de recubrimientos ultrafinos y análisis elemental.
Bowman tiene 5 modelos diseñados Para entornos de trabajo en las industrias de obleas y empaquetado. Estos modelos son las series K, O, M, W y A. Ofrecen una amplia gama de tamaños de chasis, tamaño y recorrido de la platina de muestra, tamaño del punto de rayos X, cámaras de video y otras características. Cada sistema está diseñado para integrarse con el flujo de trabajo existente y maximizar el rendimiento y la eficiencia mediante funciones avanzadas de hardware y software.
Los 5 tienen estas importantes características estándar:
- Geometría de acoplamiento cerrado superior diseño del tubo de rayos X y el detector, que proporciona un recuento de fotones más de tres veces superior al de los equipos de la competencia. Como resultado, los sistemas Bowman logran límites de detección más bajos y mayor precisión con tiempos de medición más cortos.
- Tubo de rayos X robusto ¡El más confiable de la industria! El tubo estable y de larga duración tiene una corriente de filamento más baja. El diseño innovador minimiza la desviación de la posición del punto causada por los cambios de temperatura a lo largo del tiempo.
- Óptica policapilar µ-Spot Con un tamaño de haz de 80 µm a 7.5 µm de FWHM para el análisis de microcaracterísticas, el tamaño de punto más pequeño de la industria. Alcanza un flujo cien veces mayor que un sistema de colimación a la misma distancia de la fuente.
- Etapa de muestreo programable de alta precisión con una variedad de opciones de tamaño y recorrido que van hasta 600 mm x 600 mm de recorrido y precisión de hasta +/- 1 µm para una medición automatizada rápida y repetible para adaptarse a una amplia gama de tamaños de muestra
- Detector SDD de alto rendimiento Con ventana de grafeno para máxima sensibilidad y resolución. Elementos ligeros como el aluminio y el fósforo son detectables incluso en concentraciones bajas. Excelente repetibilidad incluso con tiempos de prueba muy cortos en recubrimientos ultrafinos.
- Software avanzado es excepcionalmente fácil de usar; una plataforma estable y probada para todos los modelos Bowman.
- Cumplimiento con ASTM B568, DIN 50987, ISO 3497. Garantía de cumplir con los estrictos requisitos de precisión y repetibilidad de IPC 4552 a 4556 con tiempos de medición cortos.
Los instrumentos policapilares de Bowman están optimizados para obtener el mejor rendimiento al medir ENIG, ENEPIG, soldaduras libres de Al, Ti, Cu, SnPb y Pd, y muchos otros acabados de semiconductores. Mida recubrimientos ultrafinos de hasta <20 nm y en una variedad de sustratos, desde vidrio, silicio y plástico hasta Cu. Lea nuestra nota de aplicación sobre aplicaciones de semiconductores aquí: Óptica policapilar para aplicaciones en la industria de semiconductores
Software intuitivo y con muchas funciones
La interfaz del software es lo que permite a los operadores aprovechar al máximo un sistema XRF. Los operadores tienen múltiples tareas que realizar, y luchar con un protocolo de prueba complicado no debería ralentizarlos. Bowman desarrolló el software pensando en el operador, ¡y marca la diferencia!
- La interfaz de usuario más intuitiva de la industria. Diseñado para minimizar los errores, está basado en iconos, con teclas de acceso directo personalizables, visualización y salida de datos flexibles y un generador de informes con un solo clic.
- Acceso completo a funciones sin restricciones. El paquete de software completo se proporciona de forma estándar con cada sistema. Proporciona acceso ilimitado para crear nuevas aplicaciones o recetas; no se requiere software adicional.
- Análisis de espesores de revestimiento, ID de aleación y soluciones Todas las funciones de los sistemas Bowman están integradas para maximizar la capacidad analítica de XRF. Mida hasta 5 capas de recubrimiento (como Au/Pd/NiP/Cu/Br, SnPb/Ni/Ag/Cerámica y Ni/Ag/Ni/Ti/Si), 30 elementos en cualquier capa e incluso identifique el grado de aleación para la clasificación de metales. Estructuras complejas de recubrimientos multicapa como Ni/Cu/Ni/Fe y NiP/Ni/Fe. Análisis de solución de baño de galvanoplastia es una forma rápida de medir la concentración sin dilución, digestión o titulación.
- Gestión de datos para informes seguros y organizados. Todos los datos se guardan automáticamente con una marca de fecha y hora. Los datos se almacenan localmente y se pueden exportar manual o automáticamente a una carpeta de red, SECS/GEM o sistema SPC. Las plantillas de informes personalizables basadas en Excel y la base de datos con capacidad de búsqueda permiten recuperar y presentar datos fácilmente.
- Enfoque automático láser es el más rápido del mercado. El eje Z alcanza la posición de enfoque en menos de un segundo, evitando la colocación incorrecta de la muestra entre los operadores. Esta función se puede aplicar a programas multipunto para ajustar la deformación sobre la marcha.
- Capacidad de reconocimiento de patrones asegura un centrado perfecto del haz en características muy pequeñas. Las imágenes de características se almacenan y combinan con los ajustes de posición del escenario, lo que permite una programación verdaderamente automatizada con ubicaciones de medición precisas.
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Hecho en USA