Május 2022 – A Bowman fontos kiegészítést vezetett be a NYÁK-, a félvezető- és a mikroelektronikai iparban használt precíziós XRF műszereihez.
A Bowman A Series Micro XRF gyorsan méri a félvezetők és a mikroelektronika legkisebb jellemzőit. Nagyon nagy NYÁK-panelek és bármilyen méretű ostya befogadására alkalmas a teljes mintalefedettség és a többpontos programozható automatizálás érdekében.
A polikapilláris optika a röntgensugarat 7.5 µm FWHM-re fókuszálja, amely a világon a legkisebb az XRF bevonatvastagság-elemzéshez. A 140-szeres nagyítású kamera ezen a skálán méri a jellemzőket; egy másodlagos, kis nagyítású kamera a minták élőben való megtekintését és „madártávlatú” makróképet biztosít. A Bowman szabadalmaztatott kétkamerás rendszere lehetővé teszi a kezelők számára, hogy a teljes részt láthassák, a képre kattintva nagyítsa ki a nagy méretű kamerát, és gyorsan azonosítsa az érdeklődési körét.
A programozható XY tárgyasztal mindkét irányban 23.6 hüvelykes (600 mm) mozgással képes kezelni az iparág legnagyobb mintáit. A tárgyasztal tengelyenként +/- 1 µm pontosságú, és több pont kiválasztására és mérésére szolgál; A Bowman mintafelismerő szoftver és az autofókusz funkciók szintén automatikusan ezt teszik. A rendszer 3D-s térképezési képessége felhasználható az ENIG, ENEPIG, EPIG és más elit folyamatok topográfiájának megtekintésére.
Az A sorozatú műszerek 7.5 µm-es optikát tartalmaznak molibdén anódcsővel (króm és volfrám is kapható), valamint egy nagy felbontású, nagy ablakú szilícium elsodródásérzékelő (SDD), amely másodpercenként több mint 2 millió számlálást dolgoz fel. Az SDD-k az egész iparágban szabványosak az összetett vékony filmekhez. A nagy számlálási sebesség kulcsfontosságú az alacsony minimális észlelési határ (MDL) és a legmagasabb spektrális felbontás eléréséhez.
Az A sorozatú rendszerek abban különböznek egymástól, hogy tisztatér-kompatibilisek, a piacon a legnagyobb félvezető színpadszerkezettel rendelkeznek, és világszerte olyan szervizhálózattal támogatják őket, amely minden asztali XRF követelményre ugyanazon a napon válaszol. A berendezések értékelése, kiválasztása, üzembe helyezése, karbantartása és korszerűsítése elérhető a Bowman műszerek, valamint más jelentős XRF márkák felhasználói számára.
A sorozat renderelése automatizált ostyakezelővel való beépítéshez