SERIE M

Serie M XRF

Marchio Bowman XRF per piccole parti

Il serie M è il più avanzato sistema in termini di prestazioni e spot X micrometrico su campione. L'ottica policapillare focalizza il fascio X primario a 15 µm sul campione. Un sistema a doppia fotocamera consente agli operatori di vedere il campione nel suo intero e di ingrandire con la fotocamera ad alta luminosità il punto da analizzare. Grazie alla tavola XY programmabile, l’operatore può selezionare e misurare con precisione più punti. L’operatore può utilizzare un sistema di mappatura bidimensionale per vedere la topografia di un rivestimento sulla superficie di un campione come un wafer di silicio. Il serie M è simile al Serie O ma con una telecamera a ingrandimento maggiore e uno spot su campione più piccolo.

La configurazione standard include un ottica policapillare da 15 µm, una tavola XY motorizzata e programmabile, un rivelatore SDD ad alte performance per processare alti count rates, un tubo a raggi X microfocus ad alte prestazioni e una micro/macro camera con un ingrandimento fino a XNUMXX.

Ora disponibile con opzione tavola XY estesa

Performance

ENEPIG NiP
μm Au μm Pd μm Ni μm NiP μm% P
media 0.0427 0.08 3.72 10.2015 10.17
StdDev 0.00045 0.0009 0.000985 0.1089 0.29
Range 0.0015 0.003 0.0395 0.3863 0.99
% RSD 1.053% 1.121% 0.265% 1.067% 2.85%

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La serie M è la soluzione ideale per quei clienti che richiedono:

  • Parti / campioni molto piccoli come ad esempio semiconduttori, connettori o PCB
  • Analisi multiple su campioni micrometrici
  • Rivestimenti molto sottili (<100nm)
  • Tempi di analisi brevi (1-5 secondi)
  • Analisi conformi alla norma IPC-4552A;
  • Conforme ai metodi ASTM B568, DIN 50987 e ISO 3497.

Specifiche

Eccitazione raggi X: Tubo con anodo in Mo 50 W con ottica policapillare @15 µm
Rivelatore: SDD con risoluzione da 135eV
Spessori
Elementi analizzabili
5 spessori (4 spessori + base) e fino a 10 elementi su strato. Analisi composizionale fino a 25 elementi simultaneamente
Filtri / Collimatori: 4 filtri primari
Distanza focale: Fissa a 0.05″ (1.27 mm)
Elaborazione digitale degli impulsi: Analizzatore multicanale digitale 4096 CH con tempo di formazione variabile. Elaborazione automatica del segnale, compresa la correzione del tempo morto e la correzione del picco di fuga
Computer: Intel, CORE i5 3470 (3.2GHz), 8GB DDR3 Memory, Microsoft Windows 10 Prof, 64bit o equivalente
Telecamera: 1 / 4 "(6mm) CMOS-1280 × 720 Risoluzione VGA, 250X con doppia fotocamera o 45X con telecamera singola su schermo 381mm (15")
Ingrandimento video: 250X: con doppia videocamera; 45X: con fotocamera singola su 15 "
Alimentazione: 150W, 100~240 volts; range frequenza da 47Hz a 63Hz
Ambiente Di Lavoro: 68 °F (20 °C) a 77 °F (25 °C) e fino a 98% RH, senza condensa
Peso: 70 kg
XY programmabile: Dimensioni tavola: 431 mm (17 ") x 406mm (16") | Corsa: 165mm (6.5 ") x 165mm (6.5") alta precisione
Dimensioni interne: Altezza: 140mm (5.5"), Larghezza: 310mm (12"), Profondità: 340mm (13")
Dimensioni esterne: Altezza: 500mm (20"), Larghezza: 450mm (18"), Profondità: 600mm (24 ")

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