Il serie M è il più avanzato sistema in termini di prestazioni e spot X micrometrico su campione. L'ottica policapillare focalizza il fascio X primario a XNUMXum sul campione. Un sistema a doppia fotocamera consente agli operatori di vedere il campione nel suo intero e di ingrandire con la fotocamera ad alta luminosità il punto da analizzare. Grazie alla tavola XY programmabile, l’operatore può selezionare e misurare con precisione più punti. L’operatore può utilizzare un sistema di mappatura bidimensionale per vedere la topografia di un rivestimento sulla superficie di un campione come un wafer di silicio. Serie O, focalizzando il raggio di raggi X fino a 7.5 μm FWHM. Per misurare le caratteristiche su quella scala, è inclusa una fotocamera con ingrandimento 140x con uno zoom digitale ancora più elevato. Il campo visivo diventa più ristretto con un ingrandimento maggiore, quindi una seconda fotocamera acquisisce un'immagine macro della parte da misurare. Il sistema a doppia fotocamera consente agli operatori di vedere l'intera parte, fare clic sull'immagine per ingrandire con la fotocamera ad alta ingrandimento e individuare la caratteristica da misurare.

La configurazione standard include l'ottica da 15μm e un rilevatore LSDD ad alta risoluzione per elaborare velocità di conteggio più elevate. Anche un tavolino campione XY programmabile è standard. Il sistema ottico ha una distanza focale ravvicinata, quindi i campioni misurati con la Serie M devono essere piatti.

Ora disponibile con opzione tavola XY estesa