SERIE W MICRO XRF

Il Bowman serie W è stato progettato per l’analisi di spessori di campioni micrometrici in elettronica, grazie allo spot di analisi più piccolo sul mercato. Il Serie W utilizza un ottica a policapillare che focalizza il fascio primario in uscita dal tubo a raggi X per generare uno spot sul campione da 7.5 µm FWHM, il più piccolo spot sul mercato degli XRF. Lo strumento è dotato di una fotocamera con ingrandimento da 150X e da una fotocamera secondaria a basso ingrandimento per visualizzare il campione di analisi nella sua interezza. Il sistema a doppia telecamera del W consente agli operatori di vedere l'intero campione, fare clic sull'immagine per eseguire lo zoom con la telecamera ad alto ingrandimento e selezionare con estrema esattezza il punto di analisi.

Lo strumento è dotato di una tavola XY automatica e programmabile con movimenti precisi al +/- 1 µm per ciascun asse. L'avanzato software di riconoscimento schema, riconosce automaticamente i punti già selezionati dall'operatore ed esegue l'analisi con messa a fuoco in automatico. La funzionalità di mappatura 3D del sistema può essere utilizzata per visualizzare la topografia di un rivestimento su un campione, come un wafer di silicio.

La configurazione standard degli strumenti della serie W comprende l'ottica policapillare da 7.5 µm con tubo a raggi X con anodo in molibdeno (cromo e tungsteno opzionali) e un rivelatore SDD ad alta risoluzione e di grandi dimensioni che elabora più di 2 milioni di conteggi al secondo in grado di raggiungere livelli minimi di spessore ineguagliabili.

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Il Serie W è la soluzione ideale per quei clienti che richiedono:

  • Necessità di analizzare wafer, piccole saldature, PCB;
  • Analisi multiple di più campioni in tempi brevi;
  • Necessità di automazione;
  • La necessità di rispettare IPC-4552A, 4553A, 4554 e 4556;
  • Conforme ai metodi ASTM B568, DIN 50987 e ISO 3497.

Specifiche

Eccitazione a raggi X: Tubo con anodo in Mo 50 W con ottica policapillare @7.5 µm
Opzionale: Cr o W
Rivelatore: Rivelatore LSDD con risoluzione 135eV o superiore
Profondità focali: Fissa a 0.02″ (0.05 mm)
Ingrandimento video: 150X con telecamera per micro-view su 20 "(508mm) (fino a 600x zoom digitale)
10 ~ 20X con videocamera con vista macro
Ambiente Di Lavoro: 68 °F (20 °C) a 77 °F (25 °C) e fino a 98% RH, senza condensa
Peso: 190kg (420lbs)
XYZ programmabile: Corsa XYZ: 300mm (11.8") x 400mm (15.7") x 100mm (3.9")
Tavola XY: 305mm (12") x 406mm (16")
Precisione sull'asse X: 2.5um (100u"); Precisione dell'asse X: 1um (40u")
Precisione sull'asse Y: 3um (120u"); Precisione sull'asse Y: 1um (40u")
Precisione sull'asse Z: 1.25um (50u"); Precisione sull'asse Z: 1um (40u")
Elementi: Alluminio 13 fino all'uranio 92
Strati ed elementi di analisi: Strati 5 (strati 4 + base) e elementi 10 in ogni livello.
Analisi della composizione di elementi fino a 25 contemporaneamente
Filtri primari: 4 filtri primari
Elaborazione digitale degli impulsi: Analizzatore multicanale da 4096 CH con shaping time modificabile. Processazione del segnale automatico con correzione tempo morto e correzione picco di escape.
Processore: Intel, CORE i5 3470 (3.2GHz), 8GB DDR3 Memory,
Microsoft Windows 10 Prof, equivalente 64bit
Ottica della fotocamera: 1/4” CMOS-6×1280 risoluzione VGA
Ingrandimento video: 150X: con telecamera per micro-view su 20 "(fino a 600x zoom digitale) 10 ~ 20X: con videocamera per macrofotografia
Alimentazione: 150W, 100 ~ 240 volt; gamma di frequenza 47Hz a 63Hz
Dimensioni (AxLxP): Interno: 735mm (29 ") x 914mm (36") x 100mm (4 ")
Esterno: 940mm (37 ") x 990mm (39") x 787mm (31 ")
Altre nuove funzionalità: Array di protezione dagli arresti degli assi Z.
Auto focus e focus laser
Riconoscimento schema
Trasferimento dati personalizzato avanzato

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