Maggio, 2022 – Bowman ha introdotto un'importante aggiunta alla sua suite di strumenti XRF di precisione utilizzati nei settori PCB, semiconduttori e microelettronica.

Il Bowman serie A Micro XRF misura rapidamente le caratteristiche più piccole su semiconduttori e microelettronica. Ospita pannelli PCB molto grandi e wafer di qualsiasi dimensione, per una copertura completa del campione e un'automazione programmabile multipunto.

L'ottica policapillare focalizza il fascio di raggi X a 7.5 µm FWHM, il più piccolo al mondo per l'analisi dello spessore del rivestimento XRF. Una fotocamera con ingrandimento 140X misura le caratteristiche su quella scala; una telecamera secondaria a basso ingrandimento fornisce la visualizzazione dal vivo dei campioni e l'imaging macro "a volo d'uccello". Il sistema proprietario a doppia fotocamera di Bowman consente agli operatori di vedere l'intera parte, fare clic sull'immagine per ingrandire con la fotocamera ad alto mag e identificare rapidamente la caratteristica di interesse.

Uno stadio XY programmabile con movimento di 23.6 pollici (600 mm) in ciascuna direzione può gestire i campioni più grandi del settore. Lo stadio ha una precisione fino a +/- 1 µm per ciascun asse e viene utilizzato per selezionare e misurare più punti; Anche il software di riconoscimento del modello Bowman e le funzioni di messa a fuoco automatica lo fanno automaticamente. La capacità di mappatura 3D del sistema può essere utilizzata per visualizzare la topografia di ENIG, ENEPIG, EPIG e altri processi d'élite.

Gli strumenti della serie A includono un'ottica da 7.5 µm con tubo anodo di molibdeno (disponibili anche cromo e tungsteno) e un rilevatore di deriva al silicio (SDD) ad alta risoluzione e ampia finestra che elabora oltre 2 milioni di conteggi al secondo. Gli SDD sono lo standard, a livello di settore, per film sottili complessi. La capacità di un'elevata velocità di conteggio è fondamentale per ottenere un limite minimo di rilevamento (MDL) basso e la massima risoluzione spettrale.

I sistemi della serie A si distinguono in quanto sono pronti per camere bianche, hanno il più grande movimento dello stadio a semiconduttore sul mercato e sono supportati in tutto il mondo da una rete di assistenza che fornisce una risposta in giornata per ogni esigenza XRF da banco. La valutazione, la selezione, la messa in servizio, la manutenzione e l'ammodernamento delle apparecchiature sono disponibili per gli utenti degli strumenti Bowman, così come per altri importanti marchi XRF.