Specifiche strumentali

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Nota: gli XRF della serie A sono conformi a SEMI S2, S8

TUBE SERIE G. SERIE B. SERIE P SERIE L. SERIE K SERIE O SERIE M. SERIE W. UNA SERIE
Anodo a raggi X micro-focalizzato W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh
Percorso dei raggi X. Basso Alto Alto Basso Alto Basso Alto Basso Alto Basso Alto Basso Alto Basso Alto Basso Alto Basso
RILEVATORE
SDD Standard Standard Standard Standard Standard Standard N/A N/A N/A
Rilevatore di deriva Si per finestre di grandi dimensioni Opzionale Opzionale Opzionale Opzionale Opzionale Opzionale Standard Standard Standard
DIMENSIONE DEL FASCIO
Collimatore singolo Standard Standard N/A N/A N/A N/A N/A N/A N/A
Multi-Collimatori N/A Opzionale Standard Standard Standard N/A N/A N/A N/A
Ottica capillare FWHM N/A N/A N/A Opzionale Coming Soon! 80um 15um 7.5um 7.5um
FOCALE
Messa a fuoco Laser / Messa a fuoco automatica Standard Standard Standard Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Singola profondità focale fissa Standard Standard N/A N/A N/A Standard  Standard Standard Standard
Profondità focali multi-variabile N/A Opzionale Standard Standard Standard N/A N/A N/A N/A
INGRANDIMENTO
Micro 30X Standard Standard Standard Standard Standard N/A N/A N/A N/A
Micro 55X Opzionale Opzionale Opzionale Opzionale Opzionale Standard N/A N/A N/A
Micro 140X N/A N/A N/A N/A N/A N/A Standard Standard Standard
Zoom digitale 7X Standard Standard Standard Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Macro 9X N/A N/A N/A N/A N/A N/A Standard Standard Standard
Vista tabella N/A N/A N/A Opzionale Opzionale N/A Standard Standard Standard
CARATTERISTICHE E DIMENSIONI CAMERA
Controllo Z Automatico Automatico Automatico Automatico Automatico Automatico Automatico Programmabile Programmabile
Corsa Z 1 " 5.2 " 5.2 " 10 " 9 " 5.2 " 5.2 " 3.9 " 3.9 "
Tavola XY N/A Fissa Programmabile Programmabile Programmabile  Programmabile Programmabile Programmabile Programmabile
Corsa XY standard N/A N/A 5 × 6 " 10 × 10 " 12 × 12 "  5 × 6 " 6.5 × 6.5 " 12 × 16 " 23 × 23 "
Corsa XY opzionale 1.5 × 1.5 " N/A 10 × 10 " N/A N/A  10 × 10 " N/A N/A N/A
Corsa XY Max Travel opzionale N/A N/A 16 × 16 " N/A N/A  16 × 16 " 16 × 16 " N/A N/A
Precisione N/A N/A 0.0004 " 0.0004 " 0.0002 " 0.0004 " 0.0001 " 40u " 40u "
Dimensioni della camera HWD 4x13x12 " 5.5x12x13 " 5.5x12x13 " 10x22x24 " 24x24x9 " 5.5x12x13 " 5.4x12x13 " 4x36x29 " 4x55x58 "
PESO TOTALE
25 kg 34 kg 52-70kg 110 kg 120 kg 52-70kg 70 kg 190 kg 1000 kg