シリーズマイクロXRF
AシリーズマイクロXRF 半導体やマイクロエレクトロニクスに見られる最小のX線機能を正確に測定するために設計されました。 非常に大きなPCBパネル、または完全なサンプルカバレッジとマルチポイントプログラム可能な自動化のための任意のサイズのウェーハに対応します。
BowmanのAシリーズは、ポリキャピラリー光学系を使用して、X線ビームを7.5μmFWHMに集束させます。これは、XRF装置を使用したコーティング厚さ分析で世界最小です。 140倍の倍率のカメラを使用して、そのスケールで特徴を測定します。 ライブビューサンプルとバーズアイマクロビューイメージング用のセカンダリ低倍率カメラが付属しています。 Bowmanのデュアルカメラシステムにより、オペレーターはパーツ全体を確認し、画像をクリックして高倍率カメラでズームし、プログラムおよび測定する機能を正確に特定できます。
各方向に23.6インチ（600 mm）の動きを持つプログラム可能なXYステージは、
業界最大のサンプル。 ステージの精度は各軸で+/-1μm未満であり、
複数のポイントを選択して測定するために使用されます。 ボーマンパターン認識ソフトウェアとオートフォーカス
機能もこれを自動的に行います。 システムに組み込まれているパターン認識を使用して、シリコンウェーハなどの部品のコーティングのトポグラフィを表示できます。
質問？ デモをしたいですか？ 下取りに興味がありますか？
AシリーズXRFは、次のテスト要件を持つお客様に非常に適しています。
- 半導体、コネクタ、PCBの非常に小さな機能
- 大型PCBパネル
- 任意のサイズのウェーハ
- 2秒あたりXNUMX万以上のカウントを処理する機能
- 各方向に23.6インチの動きを持つプログラム可能なXYステージ
- 3Dマッピング機能
- IPC-4552、4553、4554、4556、ASTM B568、ISO 3497、SEMI S8に準拠
- クリーンルーム対応
製品仕様
| 測定対象： | アルミニウム 13〜ウラン 92 |
| X線源： | 50 W Mo ターゲット キャピラリー オプティクス @7.5µm FWHM at 17 KeV オプション：CrまたはW |
| 検出器： | 140eV以上の分解能を持つ大型ウィンドウシリコンドリフト検出器 |
| 測定可能 層数： |
5層構造（4層＋ベース）で、最大30元素の同時組成分析が可能 |
| フィルタ/コリメータ： | 4プライマリフィルタ |
| 出力深発： | 0.08インチ（2.03mm）に固定 |
| デジタルパルス処理： | 柔軟な成形時間の4096CHデジタルマルチチャンネルアナライザー。 デッドタイム補正とエスケープピーク補正を含む自動信号処理 |
| コンピューター： | Intel CORE i5 第 9 世代デスクトップ プロセッサ、ソリッド ステート ハード ドライブ、16 GB RAM、Microsoft Windows 11 Professional 64 ビット相当 |
| カメラ光学系： | 1/4インチCMOS-1280×720VGA解像度 |
| ビデオの倍率： | 140Xマイクロおよび7Xデジタルズーム：9Xマクロおよびテーブルビュー |
| 電源： | 720W、100〜240ボルト。 周波数範囲47Hz〜63Hz |
| 重量： | 1000kg（2200ポンド） |
| 作業環境： | 68°F（20°C）から77°F（25°C）まで、98％RHまで、結露しないこと |
| プログラマブルXYZ： | XYZトラベル：600mm（23.6 "）x 600mm（23.6"）x 89mm（3.5 "） XY卓上：559mm（22 "）x 584mm（23"） XYZ軸精度: 1um (40u”) |
| 内部寸法： | 高さ：102mm（4 "）、幅：1397mm（55"）、奥行き：1473mm（58 "） |
| 外形寸法： | 高さ：1778mm（70 "）、幅：1473mm（58"）、奥行き：1575mm（62 "） |
| その他の新機能： | Z保護アレイ、オートフォーカス、フォーカスレーザー、パターン認識、SemiS2S8準拠対応 |
アメリカ製