Mシリーズ 最小の機能のための究極の高性能めっき厚測定です。 Mシリーズのポリキャピラリー光学系は、 Oシリーズ、X線ビームを7.5μmFWHMまで集束させます。 そのスケールで特徴を測定するために、さらに高いデジタルズームを備えた140倍の倍率のカメラが含まれています。 倍率が高くなると視野が制限されるため、XNUMX台目のカメラで測定する部分のマクロ画像を撮影します。 デュアルカメラシステムにより、オペレーターはパーツ全体を確認し、画像をクリックして高倍率カメラでズームインし、測定する特徴を正確に特定することができます。

高精度プログラマブルXYステージにより、複数のポイントを選択して自動測定することができます。 パターン認識ソフトウェアはこれを自動的に行うこともできます。 シリコンウエハ等では、2-Dマッピングシステムによりパターンを認識して測定することができます。

標準構成には、15μm 光学系と、より高いカウント レートを処理するための高解像度 LSDD 検出器が含まれています。プログラム可能な XY サンプル ステージも標準です。光学系は焦点距離が近いため、M シリーズで測定するサンプルは平坦である必要があります。

拡張ステージオプションが利用可能になりました。