MシリーズXRF

Mシリーズ 最小の機能のための究極の高性能めっき厚測定です。 Mシリーズのポリキャピラリー光学系は、 Oシリーズ、X線ビームを7.5μmFWHMまで集束させます。 そのスケールで特徴を測定するために、さらに高いデジタルズームを備えた140倍の倍率のカメラが含まれています。 倍率が高くなると視野が制限されるため、XNUMX台目のカメラで測定する部分のマクロ画像を撮影します。 デュアルカメラシステムにより、オペレーターはパーツ全体を確認し、画像をクリックして高倍率カメラでズームインし、測定する特徴を正確に特定することができます。

高精度プログラマブルXYステージにより、複数のポイントを選択して自動測定することができます。 パターン認識ソフトウェアはこれを自動的に行うこともできます。 シリコンウエハ等では、2-Dマッピングシステムによりパターンを認識して測定することができます。

標準構成には、7.5μmの光学系と、より高いカウントレートを処理するための高分解能SDD検出器が含まれています。 プログラム可能なXYサンプルステージも標準装備されています。 光学システムは焦点距離が近いため、Mシリーズで測定されたサンプルは平坦である必要があります。

拡張ステージはオプションで利用可能

アプリケーションのパフォーマンス

ENEPIG 無電解ニッケル
μmAu μmPd μmNi μmNiP μm%P
平均 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
標準偏差 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
レンジ 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
%RSD 1.05% 1.13% 0.03% 1.07% 2.85%

 

質問? デモをしたいですか? 下取りに興味がありますか?

            MシリーズXRFは、次の要件を満たすお客様に最適です。

            • 半導体、コネクタ、またはPWBの非常に小さな部品/機能
            • ロットごとに多数のサンプルまたは場所をテストを要する
            • 非常に薄いコーティング(<100nm)
            • 非常に短い測定時間(1-5秒)
            • IPC-4552 A / B、4553A、4554、および4556に適合することが保証されています
            • ASTM B568、DIN 50987およびISO 3497
            • 古いXRFのパフォーマンスと効率をアップグレードし、下取りサービスをご検討中の方!

            製品仕様書

            X線源: 50 W Moターゲットフレックスビームキャピラリー光学系@15 FWHM
            検出器: シリコンドリフト検出器、135eV分解能
            測定可能
            層数:
            最大5層(4層+基材)と各層の10エレメント 最大25エレメントまで同時測定
            フィルタ/コリメータ: 4プライマリフィルタ
            出力深発: 0.15インチ(3.81mm)に固定
            デジタルパルス処理: フレキシブルなShaping tme機能を備えた4096 CHデジタルマルチチャンネルアナライザ デッドタイム補正やエスケープピーク補正などの自動信号処理
            コンピューター: Intel、CORE i5 3470プロセッサ(3.2GHz)、8GB DDR3メモリ、Microsoft Windows 10 Prof、64ビット同等
            カメラ光学系: 1/4 "(6mm)CMOS-1280×720 VGA解像度、デュアルカメラで250X、または45mm(381")画面でシングルカメラで15X
            ビデオの倍率: 140Xマイクロ、7Xデジタルズーム、9Xマクロおよびテーブルビュー
            電源: 150W、100-240ボルト、周波数範囲は47Hz〜63Hzです
            作業環境: 68°F(20°C)から77°F(25°C)まで、98%RHまで、結露しないこと
            総重量: 70kg
            プログラマブルXY: テーブルサイズ:431 mm(17 ")x 406mm(16")| 移動:165mm(6.5 ")X 165mm(6.5")高精度
            拡張ステージオプション 使用可能
            内部寸法: 高さ:137mm(5.4 ")、幅:310mm(12")、奥行き:340mm(13 ")
            外形寸法: 高さ:500mm(20 ")、幅:450mm(18")、奥行き:600mm(24 ")

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