O シリーズ XRF

OシリーズXRF

半導体用ボウマンブランドXRF

Oシリーズ 高性能と小さなX線スポットサイズを兼ね備えています。 これは、標準的なボーマンシステムに取り付けられたコリメータアセンブリに代わるポリキャピラリー焦点光学システムによって可能になります。 光学系は、チューブフラックスのほぼ80%を保持しながら、チューブ出口窓からのX線を非常に小さなスポットサイズ(100μmFWHM)に集束するように設計されています。 したがって、コリメータシステムの場合のように、小さな開口部に収まらないX線を減衰させる代わりに、ポリキャピラリー光学アセンブリにより、チューブからのX線のほとんどすべてがサンプルに到達できます。 その結果、非常に小さな部品や薄いめっきのテストに対する感度が大幅に向上します。 テスト時間を短くすると、光学システムと同様のサイズのコリメータを比較したときに、再現性がさらに向上します。

標準仕様では、80μmポリキャピラリと、高いカウントレートの高分解能SDD検出器が含まれています。 カメラの倍率は Pシリーズと比べて高倍の55xで7xの高倍率のデジタルズームがあります。 XYプログラムテーブルが標準です。焦点距離は固定で短い為、測定対象物は平らであることが条件です。

拡張ステージはオプションで利用可能

アプリケーションのパフォーマンス

ENEPIG 無電解ニッケル
μmAu μmPd μmNi μmNiP μm%P
平均 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
標準偏差 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
レンジ 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
%RSD 1.05% 1.13% 0.03% 1.07% 2.85%

 

質問? デモをしたいですか? 下取りに興味がありますか?

            OシリーズXRFは、次の要件を満たすお客様に最適です。

            • 半導体、コネクタ、PWBなどの非常に小さな部品
            • ロットごとに多数のサンプルまたは場所を測定する
            • 非常に薄いコーティング(<100nm)を測定する必要がある
            • 非常に短い測定時間(1-5秒)
            • IPC-4552、4553A、4554、および 4556 への準拠を保証
            • ASTM B568 および ISO 3497
            • 古いXRFのパフォーマンスと効率をアップグレードし、下取りサービスをご検討中の方!

            製品仕様

            X線源: 50 W Wターゲット、キャピラリー光学系、80um FWHM、17 KeV
            検出器: 140eV以上の分解能を持つ大型ウィンドウシリコンドリフト検出器
            測定可能
            層数:
            5層構造(4層+ベース)で、最大30元素の同時組成分析が可能
            フィルタ/コリメータ: 4プライマリフィルタ
            出力深発: 0.1インチ(2.54mm)に固定
            デジタルパルス処理: フレキシブルなShaping tme機能を備えた4096 CHデジタルマルチチャンネルアナライザ デッドタイム補正やエスケープピーク補正などの自動信号処理
            コンピューター: Intel CORE i5 第 9 世代デスクトップ プロセッサ、ソリッド ステート ハード ドライブ、16 GB RAM、Microsoft Windows 11 Professional 64 ビット相当
            カメラ光学系: 1/4インチ(6mm)CMOS-1280×720VGA解像度
            ビデオの倍率: 55Xマイクロと7Xデジタルズーム
            電源: 150W、100-240ボルト、周波数範囲は47Hz〜63Hzです
            作業環境: 68°F(20°C)から77°F(25°C)まで、98%RHまで、結露しないこと
            重量: 52-70kg
            プログラマブルXY: テーブルサイズ: 330mm (13″) x 381mm (15″)| 移動: 127mm (5″) x 152mm (6″)
            拡張ステージオプション 任意 拡張ステージまたは密閉チャンバー
            内部寸法: 高さ:140mm(5.5 ")、幅:305mm(12")、奥行き:330mm(13 ")
            外形寸法: 高さ:457mm(18 ")、幅:457mm(18")、奥行き:610mm(24 ")

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