WシリーズマイクロXRF

WシリーズXRF

ボウマンブランドのXRFシステム

WシリーズマイクロXRF ポリキャピラリー光学系を使用して、XRF技術を使用したコーティング厚さ解析用の世界最小ビームサイズの7.5μmFWHMにX線ビームを集光します。 その倍率のフィーチャを測定するには、150X倍率カメラを使用します。 ライブビューのサンプルや鳥瞰図マクロビュー画像用の2次低倍率カメラが付いています。 Bowmanのデュアルカメラシステムにより、オペレータは部品全体を見ることができ、画像をクリックしてハイカムカメラでズームし、プログラムされ測定されるフィーチャを特定することができます。

+/- 1μm未満の精度でプログラム可能なXYステージを使用して、複数のポイントを選択して測定します。 ボーマンパターン認識ソフトウェアとオートフォーカス機能もこれを自動的に行います。 システムの3Dマッピング機能を使用して、シリコンウェーハなどの部品上のコーティングのトポグラフィを表示できます。

Wシリーズ計測器の標準構成には、モリブデン陽極管(クロムとタングステンはオプション)を使用した7.5μm光学系と、毎秒2回以上の処理を行う高解像度、大型窓式シリコンドリフト検出器が含まれます。

WシリーズMicro XRFは、BowmanのXRF計測器スイートの7thモデルです。 ポートフォリオの他の製品と同様に、5コーティング層まで同時に測定し、検出された光子からコーティング厚さを定量化する高度なXralizerソフトウェアを実行します。 Xralizerソフトウェアは直感的なビジュアルコントロールと、時間を節約できるショートカット、豊富な検索機能、「ワンクリック」レポート機能を備えています。 このソフトウェアはまた、新しいアプリケーションのユーザー作成を簡素化します。

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WシリーズマイクロXRFは、 会社と:

  • ウェーハ、リードフレーム、PCBをテストする必要性
  • 複数のサンプルや場所をすばやくテストするための要件
  • 複数サンプルの測定を自動化したい
  • IPC-4552A、4553A、4554、4556に従う必要性
  • ASTM B568、DIN 50987およびISO 3497

製品仕様書

X線励起: 50 W Moターゲットフレックスビームキャピラリー光学系@7.5 FWHM
オプション:CrまたはW
検出器: 大きなウィンドウ135eV分解能以上のシリコンドリフト検出器
焦点深度: 0.02で固定 "
ビデオの倍率: 150のマイクロビューカメラ搭載20」画面(600xまでのデジタルズーム)
マクロビューカメラ付き10〜20X
作業環境: 68°F(20°C)から77°F(25°C)まで、98%RHまで、結露しないこと
総重量: 190kg(420lbs)
プログラマブルXYZ: XYZ移動:300mm(11.8 ")x 400mm(15.7")x 100mm(3.9 ")
XYテーブルトップ:305mm(12 ")x 406mm(16")
X軸精度:2.5um(100u "); X軸精度:1um(40u ")
Y軸精度:3um(120u "); Y軸精度:1um(40u ")
Z軸精度:1.25um(50u "); Z軸精度:1um(40u ")
測定対象: アルミニウム13〜ウラン92
分析レイヤーと要素: 各レイヤーの5レイヤー(4レイヤー+ベース)と10エレメント。
同時に25要素までの構成解析
プライマリフィルタ: 4プライマリフィルタ
デジタルパルス処理: フレキシブルなShaping tme機能を備えた4096 CHデジタルマルチチャンネルアナライザ デッドタイム補正やエスケープピーク補正などの自動信号処理
プロセッサ: Intel、CORE i5 3470(3.2GHz)、8GB DDR3メモリ、
Microsoft Windows 10 Prof、64bit相当版
カメラ光学: 1 / 4 "CMOS-1280×720 VGA解像度
電源: 150W、100〜240ボルト。 周波数範囲47Hz〜63Hz
外形寸法(高さ×幅×奥行き): 内部:735mm(29 ")x 914mm(36")x 100mm(4 ")
外部:940mm(37 ")x 990mm(39")x 787mm(31 ")
その他の新機能: Z軸衝突保護配列
オートフォーカスとフォーカスレーザー
パターン認識
高度なカスタムデータ転送