以下の各コーティング測定器の仕様を確認し、シリーズ名をクリックすると、詳細な単位ページが表示されます。
注: A シリーズ XRF は、SEMI S2、S8 に準拠しています。
| TUBE | Gシリーズ | Bシリーズ | Pシリーズ | Lシリーズ | Kシリーズ コリメート/光学 |
Oシリーズ | Mシリーズ | Wシリーズ | シリーズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| マイクロ集束X線陽極 | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh |
| X線経路 | 一気飲み | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン |
| DETECTOR | |||||||||
| Siドリフト検出器 | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | コル: 標準 光学系: 該当なし |
スタンダード | 無し | 無し | 無し |
| 大型窓Siドリフト検出器 | オプション | オプション | オプション | オプション | コル: オプション 光学系: 標準 |
オプション | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
| ビームサイズ | |||||||||
| シングルコリメータ | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し |
| マルチコリメータ | 無し | オプション | スタンダード | スタンダード | コル: 標準 光学系: 該当なし |
無し | 無し | 無し | 無し |
| キャピラリー光学系FWHM | 無し | 無し | 無し | オプション | コル: N/A 光学系: 15um |
80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
| 重心深度 | |||||||||
| レーザー/オートフォーカス | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
| 単一固定焦点深度 | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | コル: N/A 光学系: 標準 |
スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
| 可変焦点深度 | 無し | オプション | スタンダード | スタンダード | コル: 標準 光学系: 該当なし |
無し | 無し | 無し | 無し |
| ビデオ拡大 | |||||||||
| 30Xマイクロ | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | コル: 標準 光学系: 該当なし |
無し | 無し | 無し | 無し |
| 140Xマイクロ | 無し | 無し | 無し | 無し | コル: N/A 光学系: 標準 |
無し | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
| 7Xデジタルズーム | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
| 9Xマクロ | 無し | 無し | 無し | 無し | コル: N/A 光学系: 標準 |
無し | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
| テーブルビュー | 無し | 無し | 無し | オプション | コル: オプション 光学系: 標準 |
無し | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
| ステージとチャンバーの寸法 | |||||||||
| Zコントロール | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | プログラム対応 | プログラム対応 |
| Z旅行 | 1 " | 5.2 " | 5.2 " | 9.75 " | コル: 8.75″ 光学系: 8.5″ |
5.2 " | 4.9 " | 3.5 " | 3.5 " |
| ベース（Base） | 無し | 一定 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 |
| スタンダードXYトラベル | 無し | 無し | 5×6 " | 10×10 " | 12×12 " | 5×6 " | 6.5×6.5 " | 12×16 " | 23×23 " |
| オプショナルXYトラベル | 1.5×1.5 " | 無し | 10×10 " | 無し | 無し | 10×10 " | 無し | 無し | 無し |
| オプションの最大XY移動量 | 無し | 無し | 16×16 " | 無し | 無し | 16×16 " | 16×16 " | 無し | 無し |
| 精度 | 無し | 無し | 0.0004 " | 0.0004 " | コル: 0.0004″ 光学系: <80u" |
0.0004 " | 0.0001 " | 40u」 | 40u」 |
| チャンバー寸法HWD | 4x13x12 " | 5.5x12x13 " | 5.5x12x13 " | 10x22x24 " | 9x24x24 " | 5.5x12x13 " | 5.4x12x13 " | 4x36x29 " | 4x55x58 " |
| 総重量 | |||||||||
| 25kg | 34kg | 52-70kg | 110kg | 120kg | 52-70kg | 70kg | 190kg | 1000kg | |
アメリカ製