以下の各コーティング測定器の仕様を確認し、シリーズ名をクリックすると、詳細な単位ページが表示されます。
注: A シリーズ XRF は、SEMI S2、S8 に準拠しています。
TUBE | Gシリーズ | Bシリーズ | Pシリーズ | Lシリーズ | Kシリーズ | Oシリーズ | Mシリーズ | Wシリーズ | シリーズ |
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マイクロ集束X線陽極 | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh |
X線経路 | 一気飲み | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン | トップダウン |
DETECTOR | |||||||||
Siドリフト検出器 | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | 無し |
大型窓Siドリフト検出器 | オプション | オプション | オプション | オプション | オプション | オプション | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
ビームサイズ | |||||||||
シングルコリメータ | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し |
マルチコリメータ | 無し | オプション | スタンダード | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | 無し | 無し |
キャピラリー光学系FWHM | 無し | 無し | 無し | オプション | 近日公開予定! | 80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
重心深度 | |||||||||
レーザー/オートフォーカス | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
単一固定焦点深度 | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | 無し | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
多変数焦点深度 | 無し | オプション | スタンダード | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | 無し | 無し |
ビデオ拡大 | |||||||||
30Xマイクロ | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | 無し | 無し | 無し | 無し |
55Xマイクロ | オプション | オプション | オプション | オプション | オプション | スタンダード | 無し | 無し | 無し |
140Xマイクロ | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
7Xデジタルズーム | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
9Xマクロ | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | 無し | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
テーブルビュー | 無し | 無し | 無し | オプション | オプション | 無し | スタンダード | スタンダード | スタンダード |
ステージとチャンバーの寸法 | |||||||||
Zコントロール | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | プログラム対応 | プログラム対応 |
Z旅行 | 1 " | 5.2 " | 5.2 " | 10 " | 9 " | 5.2 " | 5.2 " | 3.9 " | 3.9 " |
ベース(Base) | 無し | 固定の | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 | プログラム対応 |
スタンダードXYトラベル | 無し | 無し | 5×6 " | 10×10 " | 12×12 " | 5×6 " | 6.5×6.5 " | 12×16 " | 23×23 " |
オプショナルXYトラベル | 1.5×1.5 " | 無し | 10×10 " | 無し | 無し | 10×10 " | 無し | 無し | 無し |
オプションの最大XY移動量 | 無し | 無し | 16×16 " | 無し | 無し | 16×16 " | 16×16 " | 無し | 無し |
精度 | 無し | 無し | 0.0004 " | 0.0004 " | 0.0002 " | 0.0004 " | 0.0001 " | 40u」 | 40u」 |
チャンバー寸法HWD | 4x13x12 " | 5.5x12x13 " | 5.5x12x13 " | 11x22x24 " | 24x24x9 " | 5.5x12x13 " | 5.4x12x13 " | 4x36x29 " | 4x55x58 " |
総重量 | |||||||||
25kg | 34kg | 52-70kg | 110kg | 120kg | 52-70kg | 70kg | 190kg | 1000kg |