システム比較表

以下の各コーティング測定器の仕様を確認し、シリーズ名をクリックすると、詳細な単位ページが表示されます。
注: A シリーズ XRF は、SEMI S2、S8 に準拠しています。

TUBE Gシリーズ Bシリーズ Pシリーズ Lシリーズ Kシリーズ Oシリーズ Mシリーズ Wシリーズ シリーズ
マイクロ集束X線陽極 W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh
X線経路 一気飲み トップダウン トップダウン トップダウン トップダウン トップダウン トップダウン トップダウン トップダウン
DETECTOR
Siドリフト検出器 スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード 無し 無し 無し
大型窓Siドリフト検出器 オプション オプション オプション オプション オプション オプション スタンダード スタンダード スタンダード
ビームサイズ
シングルコリメータ スタンダード スタンダード 無し 無し 無し 無し 無し 無し 無し
マルチコリメータ 無し オプション スタンダード スタンダード スタンダード 無し 無し 無し 無し
キャピラリー光学系FWHM 無し 無し 無し オプション 近日公開予定! 80um 15um 7.5um 7.5um
重心深度
レーザー/オートフォーカス スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード
単一固定焦点深度 スタンダード スタンダード 無し 無し 無し スタンダード  スタンダード スタンダード スタンダード
多変数焦点深度 無し オプション スタンダード スタンダード スタンダード 無し 無し 無し 無し
ビデオ拡大
30Xマイクロ スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード 無し 無し 無し 無し
55Xマイクロ オプション オプション オプション オプション オプション スタンダード 無し 無し 無し
140Xマイクロ 無し 無し 無し 無し 無し 無し スタンダード スタンダード スタンダード
7Xデジタルズーム スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード スタンダード
9Xマクロ 無し 無し 無し 無し 無し 無し スタンダード スタンダード スタンダード
テーブルビュー 無し 無し 無し オプション オプション 無し スタンダード スタンダード スタンダード
ステージとチャンバーの寸法
Zコントロール オートマチック オートマチック オートマチック オートマチック オートマチック オートマチック オートマチック プログラム対応 プログラム対応
Z旅行 1 " 5.2 " 5.2 " 10 " 9 " 5.2 " 5.2 " 3.9 " 3.9 "
ベース(Base) 無し 固定の プログラム対応 プログラム対応 プログラム対応  プログラム対応 プログラム対応 プログラム対応 プログラム対応
スタンダードXYトラベル 無し 無し 5×6 " 10×10 " 12×12 "  5×6 " 6.5×6.5 " 12×16 " 23×23 "
オプショナルXYトラベル 1.5×1.5 " 無し 10×10 " 無し 無し  10×10 " 無し 無し 無し
オプションの最大XY移動量 無し 無し 16×16 " 無し 無し  16×16 " 16×16 " 無し 無し
精度 無し 無し 0.0004 " 0.0004 " 0.0002 " 0.0004 " 0.0001 " 40u」 40u」
チャンバー寸法HWD 4x13x12 " 5.5x12x13 " 5.5x12x13 " 11x22x24 " 24x24x9 " 5.5x12x13 " 5.4x12x13 " 4x36x29 " 4x55x58 "
総重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg