A 시리즈 마이크로 XRF

A 시리즈 마이크로 XRF

Bowman A 시리즈 마이크로 XRF 시스템

A 시리즈 마이크로 XRF 는 반도체와 마이크로일렉트로닉스에서 요구되는 가장 작은 X선 기능이 필요한 정밀한 측정을 위해 설계되었습니다. 매우 큰 PCB 패널 또는 모든 크기의 웨이퍼를 전체 시료 범위에서 수용하여 멀티 포인트 프로그래밍이 가능한 자동화 실현합니다.

Bowman의 A 시리즈는 Poly-capillary Optics을 사용하여 X-ray 빔을 7.5 μm FWHM에 초점을 맞추는데, 이는 XRF 장비를 사용한 도금 두께 분석에서 세계에서 가장 작은 것입니다. 140X 배율의 카메라는 이 스케일의 포인트를 측정하는 데 사용됩니다. 시료의 넓은 범위를 볼 수 있는 낮은 배율의 카메라가 함께 제공됩니다. Bowman의 듀얼 카메라 시스템은 운영자들이 전체 부분을 보고, 이미지를 클릭하여 높은 배율의 카메라로 확대하고, 프로그래밍하고 측정할 포인트를 정확히 찾아낼 수 있게 해줍니다.

각 방향으로 23.6인치(600mm)를 이동하는 프로그래밍이 가능한 X-Y 스테이지는 업계에서 가장 큰 시료를 처리할 수 있습니다.
스테이지는 각 축에 대해 +/- 1μm 미만의 정밀도를 가지며 여러 포인트를 선택하고 측정하는 데 사용됩니다.
Bowman 패턴 인식 소프트웨어와 자동 초점 기능도 자동으로 이를 수행합니다.
시스템의 내장된 패턴 인식 기능은 실리콘 웨이퍼와 같은 부품의 두께 차이을 보는 데 사용될 수 있습니다.

질문이 있으십니까? 데모를 원하십니까? 보상 판매에 관심이 있으십니까?

            A 시리즈 XRF는 다음과 같은 테스트 요구 사항을 가진 고객에게 매우 적합합니다.

            • 반도체, 커넥터, PCB의 매우 작은 측정 포인트
            • 대형 PCB 패널
            • 모든 크기의 웨이퍼
            • 초당 2백만 개 이상의 카운트를 처리하는 기능
            • 각 방향으로 23.6인치 이동이 가능한 프로그래밍 가능한 XY 스테이지
            • 3D 매핑 기능
            • IPC-4552, 4553, 4554 및 4556, ASTM B568, ISO 3497 및 SEMI S8 준수
            • 클린룸 준비

            제품 사양

            측정 가능 원소 : Aluminium 13 to Uranium 92
            엑스레이 발생장치 : 50 W Mo target Flex-Beam Capillary Optics @7.5 FWHM at 17 KeV Optional: Cr or W
            검출기 : Large window Silicon drifted detector with 135eV resolution or better
            측정 가능한
            도금층과 원소의 갯수 :            		 5 layers (4 layers + base) and 10 elements in each layer. Composition analysis of up to 25 elements simultaneously
            필터 / 시준기(Collimator) : 4 primary filters
            시료 초점 거리: Fixed at 0.08" (2.03mm)
            디지털 펄스 프로세싱 : 4096 CH digital multi-channel analyzer with flexible shaping time. Automatic signal processing, including dead time correction and escape peak correction
            컴퓨터: Intel, CORE i5 9th Gen. Processor (4.1 GHz), 16GB RAM, Microsoft Windows 10 Prof, 64-bit
            카메라 : 1/4″ CMOS-1280×720 VGA resolution
            비디오 배율 : 140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View
            입력 전원 : 720W, 100~240 volts; frequency range 47Hz to 63Hz
            무게 1000kg (2200 lbs)
            사용 환경 : 68°F (20°C) to 77°F (25°C) and up to 98% RH, non-condensing
            프로그래밍 가능한 XYZ : XYZ travel: 600mm (23.6″) x 600mm (23.6″) x 100mm (3.9″)
            XY tabletop: 560mm (22″) x 585mm (23″)
            X & Y-axis precision: 1um (40u”)
            Z-axis precision: 1um (40u”)
            내부 측정 공간 : Height: 100mm (4″), Width: 1400mm (55″), Depth: 1470mm (58″)
            측정기 크기 : Height: 1780mm (70″), Width: 1470mm (58″), Depth: 1575mm (62″)
            기타 새로운 기능 : Z protection array, Auto focus, Focus laser, Pattern recognition, Semi S2 S8 compliant-ready

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