A 시리즈 마이크로 XRF

A 시리즈 마이크로 XRF

Bowman A 시리즈 마이크로 XRF 시스템

A 시리즈 마이크로 XRF 반도체 및 마이크로일렉트로닉스에서 발견되는 가장 작은 X선 특징의 정확한 측정을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 전체 샘플 적용 범위 및 다중 지점 프로그래밍 가능 자동화를 위해 매우 큰 PCB 패널 또는 모든 크기의 웨이퍼를 수용합니다.

Bowman의 A 시리즈는 폴리모세필러리 광학을 사용하여 X선 빔을 XRF 기기를 사용한 코팅 두께 분석에 대해 세계에서 가장 작은 7.5μm FWHM에 초점을 맞춥니다. 140X 확대 카메라는 해당 규모의 기능을 측정하는 데 사용됩니다. 라이브 보기 샘플 및 조감도 매크로 보기 이미징을 위한 보조 저배율 카메라가 함께 제공됩니다. Bowman의 이중 카메라 시스템을 통해 작업자는 전체 부품을 보고, 이미지를 클릭하여 고배율 카메라로 확대하고, 프로그래밍 및 측정할 기능을 정확히 찾아낼 수 있습니다.

각 방향으로 23.6인치(600mm)의 이동이 있는 프로그래밍 가능한 XY 스테이지는
업계에서 가장 큰 샘플. 스테이지는 각 축에 대해 +/- 1μm 미만의 정밀도를 가지며 다음과 같습니다.
여러 점을 선택하고 측정하는 데 사용됩니다. Bowman 패턴 인식 소프트웨어 및 자동 초점
기능도 이 작업을 자동으로 수행합니다. 시스템에 내장된 패턴 인식 기능을 사용하여 실리콘 웨이퍼와 같은 부품의 코팅 지형을 볼 수 있습니다.

질문이 있으십니까? 데모를 원하십니까? 보상 판매에 관심이 있으십니까?

            A 시리즈 XRF는 다음과 같은 테스트 요구 사항을 가진 고객에게 매우 적합합니다.

            • 반도체, 커넥터, PCB의 매우 작은 기능
            • 대형 PCB 패널
            • 모든 크기의 웨이퍼
            • 초당 2백만 개 이상의 카운트를 처리하는 기능
            • 각 방향으로 23.6인치 이동이 가능한 프로그래밍 가능한 XY 스테이지
            • 3D 매핑 기능
            • IPC-4552 A/B, 4553A, 4554 및 4556, ASTM B568, DIN 50987 및 ISO 3497 준수
            • 클린룸 준비

            측정기 사양

            측정 가능 원소 : Aluminium 13 to Uranium 92)
            엑스레이 발생장치 : 50W Mo target Flex-Beam Capillary Optics @7.5 FWHM 옵션: Cr 또는 W
            검출기 : Large window Silicon drifted detector with 135eV resolution or better
            측정 가능한
            도금층과 원소의 갯수 :
            5개의 레이어(4개의 레이어 + 베이스)와 각 레이어에 10개의 요소. 동시에 최대 25개 원소의 조성 분석
            필터 / 시준기(Collimator) : 4 primary filters
            출력 초점 깊이: Fixed at 0.08" (2.03mm)
            디지털 펄스 프로세싱 : 유연한 성형 시간을 제공하는 4096 CH 디지털 다중 채널 분석기. 데드 타임 보정 및 탈출 피크 보정을 포함한 자동 신호 처리
            컴퓨터: Intel, CORE i5 9세대 프로세서(4.1GHz), 16GB RAM, Microsoft Windows 10 Prof, 64비트
            카메라 : 1/4″ CMOS-1280×720 VGA resolution
            비디오 배율 : 140X 마이크로 및 7X 디지털 줌: 9X 매크로 및 테이블 보기
            입력 전원 : 720W, 100~240 volts; frequency range 47Hz to 63Hz
            무게 : 1000kg (2200의 파운드)
            사용 환경 : 68°F (20°C) to 77°F (25°C) and up to 98% RH, non-condensing
            프로그래밍 가능한 XYZ : XYZ travel: 600mm (23.6″) x 600mm (23.6″) x 100mm (3.9″)
            XY tabletop: 560mm (22″) x 585mm (23″)
            X 및 Y축 정밀도: 1um(40u”)
            Z축 정밀도: 1um(40u”)
            내부 측정 공간 : 너비: 1400mm(55″), 깊이: 1470mm(58″), 높이: 100mm(4″)
            측정기 크기 : 너비: 1470mm(58″), 깊이: 1575mm(62″), 높이: 1780mm(70″)
            기타 새로운 기능 : Z 보호 어레이, 자동 초점, 초점 레이저, 패턴 인식, Semi S2 S8 호환 가능

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