M 시리즈 XRF

M 시리즈 XRF

Bowman 브랜드 XRF (소형 부품 용)

M 시리즈는 가장 작은 측정 포인트에 대한 높은 성능의 도금 두께 측정을 위한 최고의 제품입니다. M 시리즈의 Poly-capillary Optics는 O 시리즈 보다 더 발전하여 X선 빔을 15μm FWHM까지 초점을 맞춥니 다. 이렇게 작은 측정 포인트를 확인하고 측정하기 위해서 디지털 줌이 훨씬 높은 150x 확대 카메라가 포함되어 있습니다. 더 높은 배율에서는 시야가 더욱 제한되므로 두 번째 카메라는 측정 할 부분의 매크로 이미지를 가져옵니다. 듀얼 카메라 시스템을 통해 작업자는 전체 부품을보고, 이미지를 클릭하여 고배율의 카메라로 확대하고, 측정 할 포인트를 정확하게 지정할 수 있습니다.

M 시리즈는 완전히 가장 작은 엑스레이 초점크기에서 고성능을 보여주는 데 있어서 최고의 제품입니다. 높은 정밀도를 가진 XY 샘플 스테이지는 프로그램으로 지정된 여러 위치를 정확하게 자동으로 측정할 수 있도록 해줍니다. 또한 정확한 포인트의 측정을 위해서 패턴 인식 프로그램이 사용될 수 있습니다. 2D 맵핑 시스템을 사용하여 실리콘 웨이퍼와 같은 표면의 도금 두께는 이차원의 등고선으로 그려질 수 있습니다.

표준 구성에는 15μm Optics 및 더 높은 카운트 속도를 처리하기위한 고해상도 SDD 검출기가 포함됩니다. 프로그래밍이 가능한 XY 시료 스테이지도 표준입니다. Optics 시스템은 초점 거리가 가깝기 때문에 M 시리즈로 측정할 시료는 평평해야 합니다.

더 넓은 스테이지 옵션의 사용이 가능합니다.

Application Performance

ENEPIG 무 전해 니켈
μm Au μm Pd μm Ni μm NiP μm % P
평균 0.0427 0.08 3.72 10.2015 10.17
표준편차 0.00045 0.0009 0.000985 0.1089 0.29
범위 0.0015 0.003 0.0395 0.3863 0.99
% 상대표준편차 1.053% 1.121% 0.265% 1.067% 2.85%

질문이 있으십니까? 데모를 원하십니까?

M 시리즈 XRF는 아래의 사항을 필요로 하는 고객에게 가장 적합합니다:

  • 반도체, 커넥터, PCB와 같은 매우 작은 부품이나 포인트의 측정
  • 대량의 샘플 측정 혹은 많은 측정 포인트를 가진 샘플의 측정
  • 매우 얇은 코팅 (<100nm)
  • 1초에서 5초 정도의 매우 짧은 측정 시간 필요
  • IPC-4552A, 4553A, 4554 및 4556을 (를) 보장합니다.
  • ASTM B568, DIN 50987 및 ISO 3497

측정기 사양

엑스레이 발생장치 : 50 W Mo target Flex-Beam Capillary Optics @15 FWHM
검출기 : Silicon drifted detector with 135eV resolution
측정 가능한
도금층과 원소의 갯수 :
5 layers (4 layers + base) and 10 elements in each layer with composition analysis of up to 25 elements simultaneously
필터 / 시준기(Collimator) : 4 primary filters
초점 거리 : Fixed at 0.05" (1.27mm)
디지털 펄스 프로세싱 : 4096 CH digital multi-channel analyser with flexible shaping time Automatic signal processing including dead time correction and escape peak correction
컴퓨터 : Intel, CORE i5 3470 Processor (3.2GHz), 8GB DDR3 Memory, Microsoft Windows 10 Prof, 64-bit equivalent
카메라 : 1/4″ (6mm) CMOS-1280×720 VGA resolution, 250X with Dual Camera or 45X with Single Camera on 381mm (15″) screen
비디오 배율 : 250X : 듀얼 카메라 45X 사용 : 15에서 단일 카메라 사용 "화면
입력 전원 : 150W, 100-240 volts, with frequency range of 47Hz to 63Hz
사용 환경 : 68°F (20°C) to 77°F (25°C) and up to 98% RH, non-condensing
무게 : 70kg
XY 테이블 : Table size: 431 mm (17″) x 406mm (16″) | Travel: 165mm (6.5″) x 165mm (6.5″) high precision
Now available with extended stage option
내부 측정 공간 : Height: 140mm (5.5″), Width: 310mm (12″), Depth: 340mm (13″)
측정기 크기 : Height: 500mm (20″), Width: 450mm (18″), Depth: 600mm ( 24″)

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