M 시리즈 XRF
M 시리즈는 가장 작은 측정 포인트에 대한 높은 성능의 도금 두께 측정을 위한 최고의 제품입니다. M 시리즈의 Poly-capillary Optics는 O 시리즈, X선 빔을 7.5μm FWHM까지 집중시킵니다. 그 규모의 기능을 측정하기 위해 훨씬 더 높은 디지털 줌 기능을 갖춘 140x 배율 카메라가 포함됩니다. 배율이 높을수록 시야가 더 제한되므로 두 번째 카메라는 측정할 부품의 매크로 이미지를 촬영합니다. 이중 카메라 시스템을 통해 작업자는 전체 부품을 보고, 이미지를 클릭하여 고배율 카메라로 확대하고, 측정할 형상을 정확히 찾아낼 수 있습니다.
M 시리즈는 완전히 가장 작은 엑스레이 초점크기에서 고성능을 보여주는 데 있어서 최고의 제품입니다. 높은 정밀도를 가진 XY 샘플 스테이지는 프로그램으로 지정된 여러 위치를 정확하게 자동으로 측정할 수 있도록 해줍니다. 또한 정확한 포인트의 측정을 위해서 패턴 인식 프로그램이 사용될 수 있습니다. 2D 맵핑 시스템을 사용하여 실리콘 웨이퍼와 같은 표면의 도금 두께는 이차원의 등고선으로 그려질 수 있습니다.
표준 구성에는 7.5μm Optics 및 더 높은 카운트 속도를 처리하기위한 고해상도 SDD 검출기가 포함됩니다. 프로그래밍이 가능한 XY 시료 스테이지도 표준입니다. Optics 시스템은 초점 거리가 가깝기 때문에 M 시리즈로 측정할 시료는 평평해야 합니다.
더 넓은 스테이지 옵션의 사용이 가능합니다.
Application Performance
ENEPIG | 무 전해 니켈 | ||||
---|---|---|---|---|---|
μm 금 | ㎛ Pd | ㎛ Ni | μm NiP | μm % P | |
평균 | 0.043 | 0.08 | 3.72 | 10.202 | 10.17 |
표준편차 | 0.0005 | 0.0009 | 0.00010 | 0.1089 | 0.29 |
범위 | 0.0015 | 0.0030 | 0.040 | 0.3863 | 0.9900 |
% 상대표준편차 | 1.05% | 1.13% | 0.03% | 1.07% | 2.85% |
질문이 있으십니까? 데모를 원하십니까? 보상 판매에 관심이 있으십니까?
M 시리즈 XRF는 아래의 사항을 필요로 하는 고객에게 가장 적합합니다:
- 반도체, 커넥터, PCB와 같은 매우 작은 부품이나 포인트의 측정
- 대량의 샘플 측정 혹은 많은 측정 포인트를 가진 샘플의 측정
- 매우 얇은 코팅 (<100nm)
- 1초에서 5초 정도의 매우 짧은 측정 시간 필요
- IPC-4552 A/B, 4553A, 4554 및 4556 충족 보장
- ASTM B568, DIN 50987 및 ISO 3497
- 보상 판매 혜택으로 오래된 XRF의 성능과 효율성을 업그레이드하려는 고객
측정기 사양
엑스레이 발생장치 : | 50 W Mo target Flex-Beam Capillary Optics @15 FWHM at 17 KeV |
검출기 : | Silicon drifted detector with 135eV resolution |
측정 가능한 도금층과 원소의 갯수 : |
5 layers (4 layers + base) and 10 elements in each layer with composition analysis of up to 25 elements simultaneously |
필터 / 시준기(Collimator) : | 4 primary filters |
시료 초점 거리: | Fixed at 0.15" (3.81mm) |
디지털 펄스 프로세싱 : | 4096 CH digital multi-channel analyser with flexible shaping time Automatic signal processing including dead time correction and escape peak correction |
컴퓨터: | Intel, CORE i5 3470 Processor (3.2GHz), 8GB DDR3 Memory, Microsoft Windows 10 Prof, 64-bit equivalent |
카메라 : | 1/4″ (6mm) CMOS-1280×720 VGA resolution, 250X with Dual Camera or 45X with Single Camera on 381mm (15″) screen |
비디오 배율 : | 140X Micro, 7X digital Zoom, 9X Macro & Table View |
입력 전원 : | 150W, 100-240 volts, with frequency range of 47Hz to 63Hz |
사용 환경 : | 68°F (20°C) to 77°F (25°C) and up to 98% RH, non-condensing |
무게 : | 70kg |
XY 테이블 : | Table size: 431 mm (17″) x 406mm (16″) | Travel: 165mm (6.5″) x 165mm (6.5″) high precision Now available with extended stage option |
내부 측정 공간 : | Height: 137mm (5.4″), Width: 310mm (12″), Depth: 340mm (13″) |
측정기 크기 : | Height: 500mm (20″), Width: 450mm (18″), Depth: 600mm ( 24″) |