M 시리즈 XRF

M 시리즈 XRF

Bowman 브랜드 XRF (소형 부품 용)

M 시리즈는 극도로 미세한 샘플의 측정에 있어서 최상의 성능을 가집니다. M 시리즈에 장착된 Poly-capillary Optics 는 O 시리즈 보다 위의 모델로 15um FWHM 수준까지 엑스레이의 초점을 맞춥니다. 이렇게 미세한 샘플의 측정을 위해서 150배율의 고 배율 카메라를 가지고 있습니다. 따라서 보여지는 시야가 제한적이기 때문에 측정 샘플을 넓게 볼 수 있는 다른 카메라가 추가되었습니다. 이러한 듀얼 카메라 시스템은 샘플을 전체적으로 볼 수 있고, 측정이 필요한 부분을 확대하여 고 배율로 확인할 수 있게 해줍니다.

M 시리즈는 완전히 가장 작은 엑스레이 초점크기에서 고성능을 보여주는 데 있어서 최고의 제품입니다. 높은 정밀도를 가진 XY 샘플 스테이지는 프로그램으로 지정된 여러 위치를 정확하게 자동으로 측정할 수 있도록 해줍니다. 또한 정확한 포인트의 측정을 위해서 패턴 인식 프로그램이 사용될 수 있습니다. 2D 맵핑 시스템을 사용하여 실리콘 웨이퍼와 같은 표면의 도금 두께는 이차원의 등고선으로 그려질 수 있습니다.

M 시리즈는 15um Optics와 더불어 높은 해상도의 SDD 검출기를 기본으로 갖추고 있습니다. 카메라 또한 미세한 포인트 측정을 위해 150 배율 렌즈가 제공되며, 추가로 확대할 수 있는 디지털 줌 기능을 가지고 있습니다. 프로그램이 가능한 XY 샘플 스테이지 또한 기본 사양입니다. Optics 시스템은 샘플과의 초점거리가 매우 짧으므로 M 시리즈는 매우 평평한 샘플의 측정에 적합합니다.

확장 된 스테이지 옵션으로 사용 가능

Application Performance

ENEPIG 무 전해 니켈
μm Au μm Pd μm Ni μm NiP μm % P
평균 0.0427 0.08 3.72 10.2015 10.17
표준편차 0.00045 0.0009 0.000985 0.1089 0.29
범위 0.0015 0.003 0.0395 0.3863 0.99
% 상대표준편차 1.053% 1.121% 0.265% 1.067% 2.85%

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M 시리즈 XRF는 아래의 사항을 필요로 하는 고객에게 가장 적합합니다:

  • 반도체, 커넥터, PCB와 같은 매우 작은 부품이나 포인트의 측정
  • 대량의 샘플 측정 혹은 많은 측정 포인트를 가진 샘플의 측정
  • 매우 얇은 코팅 (<100nm)
  • 1초에서 5초 정도의 매우 짧은 측정 시간 필요
  • IPC-4552A, 4553A, 4554 및 4556을 (를) 보장합니다.
  • ASTM B568, DIN 50987 및 ISO 3497

측정기 사양

엑스레이 발생장치 : 50 W Mo target Flex-Beam Capillary Optics @15 FWHM
검출기 : Silicon drifted detector with 135eV resolution
측정 가능한
도금층과 원소의 갯수 :
5 layers (4 layers + base) and 10 elements in each layer with composition analysis of up to 25 elements simultaneously
필터 / 시준기(Collimator) : 4 primary filters
초점 거리 : 0.05에서 고정 "(1.27mm)
디지털 펄스 프로세싱 : 4096 CH digital multi-channel analyser with flexible shaping time Automatic signal processing including dead time correction and escape peak correction
컴퓨터 : Intel, CORE i5 3470 Processor (3.2GHz), 8GB DDR3 Memory, Microsoft Windows 10 Prof, 64-bit equivalent
카메라 : 1 / 4 "(6mm) CMOS-1280 × 720 VGA 해상도, 이중 카메라가있는 250X 또는 45mm (381") 화면의 단일 카메라가있는 15X
입력 전원 : 150W, 100-240 volts, with frequency range of 47Hz to 63Hz
사용 환경 : 68°F (20°C) to 77°F (25°C) and up to 98% RH, non-condensing
무게 : 70kg
XY 테이블 : 테이블 크기 : 431 mm (17 ") x 406mm (16") | 여행 : 165mm (6.5 ") X 165mm (6.5") 고정밀
와 함께 사용할 수 펼친 무대 옵션
내부 측정 공간 : Height: 140mm (5.5″), Width: 310mm (12″), Depth: 340mm (13″)
측정기 크기 : Height: 500mm (20″), Width: 450mm (18″), Depth: 600mm ( 24″)