M 시리즈 XRF

M 시리즈 XRF

Bowman 브랜드 XRF (소형 부품 용)

M 시리즈는 가장 작은 측정 포인트에 대한 높은 성능의 도금 두께 측정을 위한 최고의 제품입니다. M 시리즈의 Poly-capillary Optics는 엑스레이를 O 시리즈보다 작은 7.5μm FWHM까지 집중시킵니다. 이 크기의 시료를 측정하기 위해 훨씬 더 높은 디지털 줌 기능을 갖춘 140x 배율 카메라가 포함됩니다. 배율이 높을수록 시야가 더 제한되므로 두 번째 카메라는 측정할 시료의 넓은 영역 이미지를 촬영합니다. 이중 카메라 시스템을 통해 작업자는 전체 시료를 보고, 이미지를 클릭하여 고배율 카메라로 확대하고, 측정할 형상을 정확히 찾아낼 수 있습니다.

M 시리즈는 완전히 가장 작은 엑스레이 초점크기에서 고성능을 보여주는 데 있어서 최고의 제품입니다. 높은 정밀도를 가진 XY 샘플 스테이지는 프로그램으로 지정된 여러 위치를 정확하게 자동으로 측정할 수 있도록 해줍니다. 또한 정확한 포인트의 측정을 위해서 패턴 인식 프로그램이 사용될 수 있습니다. 2D 맵핑 시스템을 사용하여 실리콘 웨이퍼와 같은 표면의 도금 두께는 이차원의 등고선으로 그려질 수 있습니다.

표준 구성에는 15μm 광학 장치와 더 높은 카운트 속도를 처리하기 위한 고해상도 LSDD 검출기가 포함됩니다. 프로그래밍 가능한 XY 샘플 스테이지도 표준입니다. 광학 시스템은 초점 거리가 가깝기 때문에 M 시리즈로 측정한 샘플은 평평해야 합니다.

더 넓은 스테이지 옵션의 사용이 가능합니다.

Application Performance

ENEPIG 무 전해 니켈
μm Au ㎛ Pd ㎛ Ni μm NiP μm % P
평균 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
표준편차 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
범위 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
% 상대표준편차 1.05% 1.13% 0.03% 1.07% 2.85%

 

질문이 있으십니까? 데모를 원하십니까? 보상 판매에 관심이 있으십니까?

            M 시리즈 XRF는 아래의 사항을 필요로 하는 고객에게 가장 적합합니다:

            • 반도체, 커넥터, PCB와 같은 매우 작은 부품이나 포인트의 측정
            • 대량의 샘플 측정 혹은 많은 측정 포인트를 가진 샘플의 측정
            • 매우 얇은 코팅 (<100nm)
            • 1초에서 5초 정도의 매우 짧은 측정 시간 필요
            • IPC-4552, 4553, 4554 및 4556 충족 보장
            • ASTM B568 및 ISO 3497
            • 보상 판매 혜택으로 오래된 XRF의 성능과 효율성을 업그레이드하려는 고객

            제품 사양

            엑스레이 발생장치 : 50W W-target Capillary Optics @15µm FWHM at 17 KeV
            Optional: Cr, Mo, or Rh
            검출기 : Large window Silicon drifted detector with 190eV resolution or better
            측정 가능한
            도금층과 원소의 갯수 :            		 5 layers (4 layers + base) and 10 elements in each layer with composition analysis of up to 30 elements simultaneously
            필터 : 4 primary filters
            시료 초점 거리: Fixed at 0.15" (3.81mm)
            디지털 펄스 프로세싱 : 4096 CH digital multi-channel analyser with flexible shaping time Automatic signal processing including dead time correction and escape peak correction
            컴퓨터: Intel CORE i5 9th gen. desktop processor, solid state hard drive, 16GB RAM, Microsoft Windows 11 Professional 64bit equivalent
            카메라 : 1/4″ (6mm) CMOS-1280×720 VGA resolution, 250X with Dual Camera or 45X with Single Camera on 381mm (15″) screen
            비디오 배율 : 140X Micro, 7X digital Zoom, 9X Macro & Table View
            입력 전원 : 150W, 100-240 volts, with frequency range of 47Hz to 63Hz
            사용 환경 : 68°F (20°C) to 77°F (25°C) and up to 98% RH, non-condensing
            무게 70kg
            XY 테이블 : Table size: 432 mm (17″) x 406mm (16″) | Travel: 165mm (6.5″) x 165mm (6.5″) high precision
            최대 확장 프로그래밍 가능 XY: Table size: 813mm (32″)x 781mm (30.75″)| Travel: 406mm (16″)x 406mm (16″)
            Now available with max extended stage option
            내부 측정 공간 : Height: 137mm (5.4″), Width: 305m (12″), Depth: 330mm (13″)
            측정기 크기 : Height: 508mm (20″), Width: 457mm (18″), Depth: 610mm ( 24″)

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