O 시리즈 XRF

O 시리즈는

반도체 용 Bowman 브랜드 XRF

O 시리즈는 매우 작은 샘플을 측정할 수 있는 높은 성능의 측정기 입니다. 보우만 기본 시스템의 일반적인 시준기(Collimator)를 Poly-capillary Focusing Optics 시스템으로 개선한 측정기 입니다. O 시리즈의 Optics 시스템은 엑스레이 발생장치에서 나오는 엑스레이를 매우 작은 점(80um FWHM)에 거의 100% 그 양을 유지하면서 초점을 맞추도록 설계되어있습니다. 따라서 일반적인 시준기(Collimator)에서 발생하는 엑스레이의 감쇠 없이 발생된 모든 엑스레이는 Poly-capillary Optics를 통해 모두 샘플에 조사됩니다. 그 결과로 매우 작은 부품이나 매우 얇은 도금의 측정에서 훨씬 높은 정밀도를 가지게 됩니다. 또한, 매우 짧은 측정 시간에도 불구하고 동일 크기의 시준기와 비교할 때 더 좋은 반복성을 가집니다.

O 시리즈는 80um Optics와 더불어 높은 해상도의 SDD 검출기를 기본으로 갖추고 있습니다. 카메라 또한 미세한 포인트 측정을 위해 기본 P 시리즈 보다 높은 45배율 렌즈가 제공되며, 5배까지 확대할 수 있는 디지털 줌 기능을 가지고 있습니다. 프로그램이 가능한 XY 샘플 스테이지 또한 기본 사양입니다. Optics 시스템은 샘플과의 초점거리가 매우 짧으므로 O 시리즈는 평평한 샘플의 측정에 적합합니다.

확장 된 스테이지 옵션으로 사용 가능

Application Performance

ENEPIG 무 전해 니켈
μm Au μm Pd μm Ni μm NiP μm % P
평균 0.0427 0.08 3.72 10.2015 10.17
표준편차 0.00045 0.0009 0.000985 0.1089 0.29
범위 0.0015 0.003 0.0395 0.3863 0.99
% 상대표준편차 1.053% 1.121% 0.265% 1.067% 2.85%

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O 시리즈 XRF는 아래의 사항을 필요로 하는 고객에게 가장 적합합니다:

  • 반도체, 커넥터, PCB와 같은 작은 부품이나 포인트의 측정
  • 대량의 샘플 측정 혹은 많은 측정 포인트를 가진 샘플의 측정
  • 매우 얇은 코팅 (<100nm) 측정 필요
  • 1초에서 5초 정도의 매우 짧은 측정 시간 필요
  • IPC-4552A, 4553A, 4554 및 4556을 (를) 보장합니다.
  • ASTM B568, DIN 50987 및 ISO 3497

측정기 사양

엑스레이 발생장치 : 50 W Mo target with Capillary Optics @80um FWHM
검출기 : Silicon drifted detector with 135eV resolution
측정 가능한
도금층과 원소의 갯수 :
5 layers (4 layers + base) and 10 elements in each layer with composition analysis of up to 25 elements simultaneously
필터 / 시준기(Collimator) : 2 primary filters
초점 거리 : 0.1에서 고정 "(0.254mm)
디지털 펄스 프로세싱 : 4096 CH digital multi-channel analyser with flexible shaping time Automatic signal processing including dead time correction and escape peak correction
컴퓨터 : Intel, CORE i5 3470 Processor (3.2GHz), 8GB DDR3 Memory, Microsoft Windows 10 Prof, 64-bit equivalent
카메라 : 1 / 4 "(6mm) CMOS-1280 × 720 VGA 해상도, 이중 카메라가있는 250X 또는 45의 단일 카메라가있는 15X"화면
입력 전원 : 150W, 100-240 volts, with frequency range of 47Hz to 63Hz
사용 환경 : 68°F (20°C) to 77°F (25°C) and up to 98% RH, non-condensing
무게 : 53kg
XY 테이블 : 테이블 크기 : 381mm (15 ") x 340mm (13") | 여행 : 152mm (6 ") x 127mm (5")
와 함께 사용할 수 펼친 무대 옵션
내부 측정 공간 : Height: 140mm (5.5″), Width: 310mm (12″), Depth: 340mm (13″)
측정기 크기 : Height: 450mm (18″), Width: 450mm (18″), Depth: 600mm ( 24″)