반도체 장치만큼 발전한 산업은 없습니다. 더 작고, 더 빠르고, 더 저렴하고, 더 안정적인 장치에 대한 소비자의 요구는 끊임없는 재설계를 필요로 합니다. Bowman은 이러한 요구 사항을 충족하기 위해 전략을 조정하고 개선했습니다.

Bowman에는 4가지 모델이 있습니다. 웨이퍼/패키징 산업의 작업 환경을 위한 이러한 모델은 O, M, W 및 A 시리즈입니다. 모델들은 다양한 크기의 외형, 시료 스테이지 크기 및 이동 거리, 엑스레이 조사 크기, 비디오 카메라 및 기타 기능을 가집니다.

모든 모델들은 다음과 같은 중요한 표준 기능을 가지고 있습니다.

• 우수한 밀착 지오메트리 구조로 설계된 엑스레이 튜브와 검출기의 레이아웃은 경쟁 장비에 비해 세배 이상 더 많은 광자 수를 제공합니다. 결과적으로 Bowman 시스템은 더 짧은 측정 시간으로 더 낮은 검출 한계와 더 높은 정밀도를 달성합니다.
• 견고한 엑스레이 튜브 – 업계 최고의 신뢰성! 안정적이고 수명이 긴 튜브는 필라멘트 전류가 낮습니다. 혁신적인 디자인은 시간 경과에 따른 온도 변화로 인한 조사 위치 변화를 최소화합니다.
• µ-Spot 다중 모세관 광학 장치는 작은 시료의 분석을 위해 80 µm에서 7.5 µm FWHM까지의 조사 크기를 실현합니다. 튜브에서 시료까지의 거리가 동일한 시준기 시스템보다 백배 이상 더 높은 플럭스를 달성합니다.
• 높은 정밀도의 프로그래밍 가능한 시료 스테이지는 최대 600mm x 600mm의 이동 거리와 다양한 크기를 가지며, 최대 +/- 1 µm의 정밀도로 다양한 시료 크기를 수용하여 빠르고 반복 가능한 자동 측정을 가능하게 합니다.
• 고성능 SDD 검출기는 그래핀 윈도우 장착으로 최고의 감도와 해상도를 제공합니다. 알루미늄(Al) 및 인(P)과 같은 가벼운 원소를 낮은 수준에서도 감지할 수 있습니다. 매우 짧은 테스트 시간에도 반복성이 뛰어납니다.
• 최신의 측정 소프트웨어는 모든 Bowman XRF를 위한 안정적이고 검증된 플랫폼으로, 다른 어떤 소프트웨어 보다 사용자 친화적입니다.
• 규정 준수 - ASTM B568, DIN 50987, ISO 3497 및 IPC 4552/4556 준수

반도체 응용 분야에 대한 애플리케이션 노트를 읽어보십시오: 반도체 산업 응용 분야를 위한 폴리캐필러리 광학