아래의 각 도금 두께 측정기에 대한 사양을 확인하시고 시리즈 이름을 클릭하시면 자세한 설명을 보실 수 있는 해당 페이지로 이동합니다.
참고: A 시리즈 XRF는 SEMI S2, S8 호환 가능
TUBE | G 시리즈 |
B 시리즈 |
P 시리즈 |
O 시리즈 |
M 시리즈 |
L 시리즈 |
W 시리즈 |
A 시리즈 |
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Micro-Focused X-ray Anode | W | W | W/Mo/Rh | Mo/Rh | Mo/Rh | W/Mo/Rh | Mo / Cr / W | Mo / Cr / W |
X-ray Path | Bottom Up | Top Down | Top Down | Top Down | Top Down | Top Down | Top Down | Top Down |
DETECTOR | ||||||||
Si Drift Detector | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 |
BEAM SIZE | ||||||||
Single Collimator | 스탠다드 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 |
Multi-Collimators | 해당 사항 없음 | Optional | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 |
Capillary Optics FWHM | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 80um | 15um | Optional | 7.5um | 7.5um |
FOCAL DEPTH | ||||||||
Focus Laser / Auto Focus | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 |
Single Fixed Focal Depth | 스탠다드 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 스탠다드 |
Multi-Variable Focal Depths | 해당 사항 없음 | Optional | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 |
VIDEO MAGNIFICATION | ||||||||
30X 마이크로 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 |
55X 마이크로 | Optional | Optional | Optional | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | Optional | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 |
140X 마이크로 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 스탠다드 |
7X 디지털 줌 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 | 스탠다드 |
9X 매크로 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 스탠다드 |
테이블보기 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 해당 사항 없음 | 스탠다드 | 스탠다드 |
STAGE & CHAMBER DIMENSIONS | ||||||||
Z Control | Automatic | Automatic | Automatic | Automatic | Automatic | Automatic | Programmable | Programmable |
Z Travel | 1 " | 5.2 " | 5.2 " | 5.2 " | 5.2 " | 10 " | 3.9 " | 3.9 " |
Base | 해당 사항 없음 | Fixed | Programmable | Programmable | Programmable | Programmable | Programmable | Programmable |
Standard XY Travel | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 5 × 6 " | 5 × 6 " | 6.5 × 6.5 " | 10 × 10 " | 12 × 16 " | 22 × 23 " |
Optional XY Travel | 1.5 × 1.5 " | 해당 사항 없음 | 10 × 10 " | 10 × 10 " | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 |
Optional Max XY Travel | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 16 × 16 " | 16 × 16 " | 16 × 16 " | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 |
Precision | 해당 사항 없음 | 해당 사항 없음 | 0.0004 " | 0.0004 " | 0.0001 " | 0.0004 " | 40유” | 40유” |
Chamber Dimensions HWD | 4x13x12 " | 5.5x12x13 " | 5.5x12x13 " | 5.5x12x13 " | 5.4x12x13 " | 11x22x24 " | 4x29x36 " | 4x55x58 " |
TOTAL WEIGHT | ||||||||
25kg | 34kg | 52 - 70kg | 52 - 70kg | 70kg | 110kg | 190kg | 1000kg |