측정기 사양 비교 자료

아래의 각 도금 두께 측정기에 대한 사양을 확인하시고 시리즈 이름을 클릭하시면 자세한 설명을 보실 수 있는 해당 페이지로 이동합니다.
참고: A 시리즈 XRF는 SEMI S2, S8 호환 가능

TUBE G 시리즈 B 시리즈 P 시리즈 L 시리즈 K 시리즈 O 시리즈 M 시리즈 W 시리즈 시리즈
Micro-Focused X-ray Anode W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh W/Cr/Mo/Rh
X-ray Path Bottom Up Top Down Top Down Top Down Top Down Top Down Top Down Top Down Top Down
DETECTOR
Si Drift Detector 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음
대형 창 Si 드리프트 감지기 Optional Optional Optional Optional Optional Optional 스탠다드 스탠다드 스탠다드
BEAM SIZE
Single Collimator 스탠다드 스탠다드 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음
Multi-Collimators 해당 사항 없음 Optional 스탠다드 스탠다드 스탠다드 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음
Capillary Optics FWHM 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 Optional 곧 출시 예정입니다! 80um 15um 7.5um 7.5um
FOCAL DEPTH
Focus Laser / Auto Focus 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드
Single Fixed Focal Depth 스탠다드 스탠다드 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 스탠다드  스탠다드 스탠다드 스탠다드
Multi-Variable Focal Depths 해당 사항 없음 Optional 스탠다드 스탠다드 스탠다드 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음
VIDEO MAGNIFICATION
30X 마이크로 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음
55X 마이크로 Optional Optional Optional Optional Optional 스탠다드 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음
140X 마이크로 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 스탠다드 스탠다드 스탠다드
7X 디지털 줌 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드 스탠다드
9X 매크로 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 스탠다드 스탠다드 스탠다드
테이블보기 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음 Optional Optional 해당 사항 없음 스탠다드 스탠다드 스탠다드
STAGE & CHAMBER DIMENSIONS
Z Control Automatic Automatic Automatic Automatic Automatic Automatic Automatic Programmable Programmable
Z Travel 1 " 5.2 " 5.2 " 10 " 9 " 5.2 " 5.2 " 3.9 " 3.9 "
Base 해당 사항 없음 Fixed Programmable Programmable Programmable  Programmable Programmable Programmable Programmable
Standard XY Travel 해당 사항 없음 해당 사항 없음 5 × 6 " 10 × 10 " 12 × 12 "  5 × 6 " 6.5 × 6.5 " 12 × 16 " 23 × 23 "
Optional XY Travel 1.5 × 1.5 " 해당 사항 없음 10 × 10 " 해당 사항 없음 해당 사항 없음  10 × 10 " 해당 사항 없음 해당 사항 없음 해당 사항 없음
Optional Max XY Travel 해당 사항 없음 해당 사항 없음 16 × 16 " 해당 사항 없음 해당 사항 없음  16 × 16 " 16 × 16 " 해당 사항 없음 해당 사항 없음
Precision 해당 사항 없음 해당 사항 없음 0.0004 " 0.0004 " 0.0002 " 0.0004 " 0.0001 " 40유” 40유”
Chamber Dimensions HWD 4x13x12 " 5.5x12x13 " 5.5x12x13 " 11x22x24 " 24x24x9 " 5.5x12x13 " 5.4x12x13 " 4x36x29 " 4x55x58 "
TOTAL WEIGHT
25kg 34kg 52 - 70kg 110kg 120kg 52 - 70kg 70kg 190kg 1000kg