UMA SÉRIE MICRO XRF

Micro XRF Série A

Sistema Micro XRF Bowman Série A

O Micro XRF Série A foi projetado para medição precisa dos menores recursos de raios-X encontrados em semicondutores e microeletrônica. Ele acomoda painéis PCB muito grandes ou wafers de qualquer tamanho para cobertura total de amostra e automação programável multiponto.

A Série A da Bowman usa óptica policapilar para focalizar o feixe de raios X em 7.5 μm FWHM, o menor do mundo para análise de espessura de revestimento usando instrumentos XRF. Uma câmera de ampliação de 140X é usada para medir recursos nessa escala; é acompanhado por uma câmera secundária de baixa ampliação para amostras de visualização ao vivo e imagens de visão macro panorâmica. O sistema de câmera dupla da Bowman permite que os operadores vejam a peça inteira, cliquem na imagem para ampliar com a câmera high-mag e identifiquem o recurso a ser programado e medido.

Um estágio XY programável com movimento de 23.6 mm (600 pol.) em cada direção pode lidar com o
maiores amostras da indústria. A platina tem precisão inferior a +/- 1 μm para cada eixo e é
usado para selecionar e medir vários pontos; Software de reconhecimento de padrões Bowman e foco automático
recursos também fazem isso automaticamente. O reconhecimento de padrões integrado ao sistema pode ser usado para visualizar a topografia de um revestimento em uma peça como uma pastilha de silício.

Questões? Quer uma demonstração? Interessado em uma troca?

            O XRF da Série A é excepcionalmente adequado para clientes com estes requisitos de teste:

            • Recursos extremamente pequenos em semicondutores, conectores, PCBs
            • Grandes painéis de PCB
            • Bolachas de qualquer tamanho
            • Capacidade de processar mais de 2 milhões de contagens por segundo
            • Estágio XY programável com movimento de 23.6″ em cada direção
            • Capacidade de mapeamento 3D
            • Conformidade com IPC-4552 A/B, 4553A, 4554 e 4556,ASTM B568, DIN 50987 e ISO 3497
            • Pronto para sala limpa

            Especificação de produto

            Faixa do elemento: 13 de alumínio para urânio 92
            Excitação de raios-X: Óptica capilar de feixe flexível de alvo de 50 W Mo @ 7.5 FWHM Opcional: Cr ou W
            Detector: Detector de silício derivado de janela grande com resolução 135eV ou superior
            Número de camadas
            e elementos de analise:
            5 camadas (4 camadas + base) e 10 elementos em cada camada. Análise de composição de até 25 elementos simultaneamente
            Filtros / Colimadores: Filtros principais 4
            Profundidade focal de saída: Fixado em 0.08 ″ (2.03 mm)
            Processamento digital de pulsos: Analisador digital multicanal 4096 CH com tempo de modelagem flexível. Processamento automático de sinal, incluindo correção de tempo morto e correção de pico de escape
            Computador: Processador Intel, CORE i5 9ª geração (4.1 GHz), 16 GB de RAM, Microsoft Windows 10 Prof, 64 bits
            Ótica da câmera: Resolução VGA de 1/4″ CMOS-1280×720
            Ampliação de vídeo: 140X Micro e Zoom Digital 7X: Macro 9X e Visualização de Mesa
            Fonte de energia: 720W, 100 ~ 240 volts; faixa de freqüência 47Hz a 63Hz
            Peso: 1000kg (lbs 2200)
            Ambiente de trabalho: 68 ° F (20 ° C) a 77 ° F (25 ° C) e até 98% RH, sem condensação
            XYZ programável: Percurso XYZ: 600mm (23.6 ″) x 600mm (23.6 ″) x 100mm (3.9 ″)
            Mesa XY: 560 mm (22 ″) x 585 mm (23 ″)
            Precisão dos eixos X e Y: 1um (40u”)
            Precisão do eixo Z: 1um (40u”)
            Dimensões internas: Largura: 1400mm (55″), Profundidade: 1470mm (58″), Altura: 100mm (4″)
            Dimensões externas: Largura: 1470mm (58″), Profundidade: 1575mm (62″), Altura: 1780mm (70″)
            Outros novos recursos: Matriz de proteção Z, foco automático, laser de foco, reconhecimento de padrões, compatível com Semi S2 S8

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