Revise as especificações de cada instrumento de medição de camadas abaixo, e clique no nome da série para visualizar a página detalhada da unidade.
Nota: Os XRFs da Série A são compatíveis com SEMI S2, S8
TUBO | SÉRIE G | SÉRIE B | SÉRIE P | SÉRIE L | SÉRIE K | SÉRIE | SÉRIE M | SÉRIE W | UMA SÉRIE |
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Ânodo de raio X micro-focalizado | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh |
Caminho de raio-x | Debaixo para cima | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo |
DETECTOR | |||||||||
Si Drift Detector | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | N/D | N/D | N/D |
Detector de deriva de Si para janela grande | Opcional | Opcional | Opcional | Opcional | Opcional | Opcional | Padrão | Padrão | Padrão |
TAMANHO DO FEIXE | |||||||||
Colimador único | Padrão | Padrão | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D |
Multi-colimadores | N/D | Opcional | Padrão | Padrão | Padrão | N/D | N/D | N/D | N/D |
Ótica Capilar FWHM | N/D | N/D | N/D | Opcional | Em breve! | 80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
PROFUNDIDADE FOCAL | |||||||||
Foco Laser / Foco Automático | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão |
Profundidade focal fixa única | Padrão | Padrão | N/D | N/D | N/D | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão |
Profundidades focais multivariáveis | N/D | Opcional | Padrão | Padrão | Padrão | N/D | N/D | N/D | N/D |
AMPLIAÇÃO DE VÍDEO | |||||||||
Micro 30X | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | N/D | N/D | N/D | N/D |
Micro 55X | Opcional | Opcional | Opcional | Opcional | Opcional | Padrão | N/D | N/D | N/D |
Micro 140X | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | Padrão | Padrão | Padrão |
Zoom Digital 7X | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão |
Macro 9X | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | Padrão | Padrão | Padrão |
Vista de mesa | N/D | N/D | N/D | Opcional | Opcional | N/D | Padrão | Padrão | Padrão |
DIMENSÕES DA CÂMARA & BASE | |||||||||
Controle Z | Automático | Automático | Automático | Automático | Automático | Automático | Automático | Programável | Programável |
Z Travel | 1 " | 5.2 " | 5.2 " | 10 " | 9 " | 5.2 " | 5.2 " | 3.9 " | 3.9 " |
Fundo | N/D | Fixo | Programável | Programável | Programável | Programável | Programável | Programável | Programável |
Viagem XY padrão | N/D | N/D | 5 × 6 ″ | 10 × 10 ″ | 12 × 12 ″ | 5 × 6 ″ | 6.5 × 6.5 ″ | 12 × 16 ″ | 23 × 23 ″ |
Viagem XY opcional | 1.5 × 1.5 ″ | N/D | 10 × 10 ″ | N/D | N/D | 10 × 10 ″ | N/D | N/D | N/D |
Viagem Max XY opcional | N/D | N/D | 16 × 16 ″ | N/D | N/D | 16 × 16 ″ | 16 × 16 ″ | N/D | N/D |
Precisão | N/D | N/D | 0.0004 " | 0.0004 " | 0.0002 " | 0.0004 " | 0.0001 " | 40u ” | 40u ” |
Dimensões da câmara HWD | 4x13x12 ″ | 5.5x12x13 ″ | 5.5x12x13 ″ | 11x22x24 ″ | 24x24x9 ″ | 5.5x12x13 ″ | 5.4x12x13 ″ | 4x36x29 ″ | 4x55x58 ″ |
PESO TOTAL | |||||||||
25kg | 34kg | 52-70kg | 110kg | 120kg | 52-70kg | 70kg | 190kg | 1000kg |