Revise as especificações de cada instrumento de medição de camadas abaixo, e clique no nome da série para visualizar a página detalhada da unidade.
Nota: Os XRFs da Série A são compatíveis com SEMI S2, S8
| TUBO | SÉRIE G | SÉRIE B | SÉRIE P | SÉRIE L | SÉRIE K Colimado/Óptica |
SÉRIE | SÉRIE M | SÉRIE W | UMA SÉRIE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ânodo de raio X micro-focalizado | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh | C/Cr/Mo/Rh |
| Caminho de raio-x | Debaixo para cima | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo | Cima para Baixo |
| DETECTOR | |||||||||
| Si Drift Detector | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Coll: Padrão Óptica: N/A |
Padrão | N/D | N/D | N/D |
| Detector de deriva de Si para janela grande | Opcional | Opcional | Opcional | Opcional | Coll: Opcional Óptica: Padrão |
Opcional | Padrão | Padrão | Padrão |
| TAMANHO DO FEIXE | |||||||||
| Colimador único | Padrão | Padrão | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D | N/D |
| Multi-colimadores | N/D | Opcional | Padrão | Padrão | Coll: Padrão Óptica: N/A |
N/D | N/D | N/D | N/D |
| Ótica Capilar FWHM | N/D | N/D | N/D | Opcional | Col: N/A Óptica: 15um |
80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
| PROFUNDIDADE FOCAL | |||||||||
| Foco Laser / Foco Automático | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão |
| Profundidade focal fixa única | Padrão | Padrão | N/D | N/D | Col: N/A Óptica: Padrão |
Padrão | Padrão | Padrão | Padrão |
| Profundidades focais variáveis | N/D | Opcional | Padrão | Padrão | Coll: Padrão Óptica: N/A |
N/D | N/D | N/D | N/D |
| AMPLIAÇÃO DE VÍDEO | |||||||||
| Micro 30X | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Coll: Padrão Óptica: N/A |
N/D | N/D | N/D | N/D |
| Micro 55X | Opcional | Opcional | Opcional | Opcional | Coll: Opcional Óptica: N/A |
Padrão | N/D | N/D | N/D |
| Micro 140X | N/D | N/D | N/D | N/D | Col: N/A Óptica: Padrão |
N/D | Padrão | Padrão | Padrão |
| Zoom Digital 7X | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão | Padrão |
| Macro 9X | N/D | N/D | N/D | N/D | Col: N/A Óptica: Padrão |
N/D | Padrão | Padrão | Padrão |
| Vista de mesa | N/D | N/D | N/D | Opcional | Coll: Opcional Óptica: Padrão |
N/D | Padrão | Padrão | Padrão |
| DIMENSÕES DA CÂMARA & BASE | |||||||||
| Controle Z | Automático | Automático | Automático | Automático | Automático | Automático | Automático | Programável | Programável |
| Z Travel | 1 " | 5.2 " | 5.2 " | 9.75 " | Col: 8.75″ Óptica: 8.5″ |
5.2 " | 4.9 " | 3.5 " | 3.5 " |
| Base | N/D | Fixo | Programável | Programável | Programável | Programável | Programável | Programável | Programável |
| Viagem XY padrão | N/D | N/D | 5 × 6 ″ | 10 × 10 ″ | 12 × 12 ″ | 5 × 6 ″ | 6.5 × 6.5 ″ | 12 × 16 ″ | 23 × 23 ″ |
| Viagem XY opcional | 1.5 × 1.5 ″ | N/D | 10 × 10 ″ | N/D | N/D | 10 × 10 ″ | N/D | N/D | N/D |
| Viagem Max XY opcional | N/D | N/D | 16 × 16 ″ | N/D | N/D | 16 × 16 ″ | 16 × 16 ″ | N/D | N/D |
| Precisão | N/D | N/D | 0.0004 " | 0.0004 " | Col: 0.0004″ Óptica: <80u" |
0.0004 " | 0.0001 " | 40u ” | 40u ” |
| Dimensões da câmara HWD | 4x13x12 ″ | 5.5x12x13 ″ | 5.5x12x13 ″ | 10x22x24 ″ | 9x24x24 ″ | 5.5x12x13 ″ | 5.4x12x13 ″ | 4x36x29 ″ | 4x55x58 ″ |
| PESO TOTAL | |||||||||
| 25kg | 34kg | 52-70kg | 110kg | 120kg | 52-70kg | 70kg | 190kg | 1000kg | |

Feito nos Estados Unidos