Tabela Comparativa dos Sistemas

Revise as especificações de cada instrumento de medição de camadas abaixo, e clique no nome da série para visualizar a página detalhada da unidade.
Nota: Os XRFs da Série A são compatíveis com SEMI S2, S8

TUBO SÉRIE G SÉRIE B SÉRIE P SÉRIE L SÉRIE K SÉRIE SÉRIE M SÉRIE W UMA SÉRIE
Ânodo de raio X micro-focalizado C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh C/Cr/Mo/Rh
Caminho de raio-x Debaixo para cima Cima para Baixo Cima para Baixo Cima para Baixo Cima para Baixo Cima para Baixo Cima para Baixo Cima para Baixo Cima para Baixo
DETECTOR
Si Drift Detector Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão N/D N/D N/D
Detector de deriva de Si para janela grande Opcional Opcional Opcional Opcional Opcional Opcional Padrão Padrão Padrão
TAMANHO DO FEIXE
Colimador único Padrão Padrão N/D N/D N/D N/D N/D N/D N/D
Multi-colimadores N/D Opcional Padrão Padrão Padrão N/D N/D N/D N/D
Ótica Capilar FWHM N/D N/D N/D Opcional Em breve! 80um 15um 7.5um 7.5um
PROFUNDIDADE FOCAL
Foco Laser / Foco Automático Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão
Profundidade focal fixa única Padrão Padrão N/D N/D N/D Padrão  Padrão Padrão Padrão
Profundidades focais multivariáveis N/D Opcional Padrão Padrão Padrão N/D N/D N/D N/D
AMPLIAÇÃO DE VÍDEO
Micro 30X Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão N/D N/D N/D N/D
Micro 55X Opcional Opcional Opcional Opcional Opcional Padrão N/D N/D N/D
Micro 140X N/D N/D N/D N/D N/D N/D Padrão Padrão Padrão
Zoom Digital 7X Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão Padrão
Macro 9X N/D N/D N/D N/D N/D N/D Padrão Padrão Padrão
Vista de mesa N/D N/D N/D Opcional Opcional N/D Padrão Padrão Padrão
DIMENSÕES DA CÂMARA & BASE
Controle Z Automático Automático Automático Automático Automático Automático Automático Programável Programável
Z Travel 1 " 5.2 " 5.2 " 10 " 9 " 5.2 " 5.2 " 3.9 " 3.9 "
Fundo N/D Fixo Programável Programável Programável  Programável Programável Programável Programável
Viagem XY padrão N/D N/D 5 × 6 ″ 10 × 10 ″ 12 × 12 ″  5 × 6 ″ 6.5 × 6.5 ″ 12 × 16 ″ 23 × 23 ″
Viagem XY opcional 1.5 × 1.5 ″ N/D 10 × 10 ″ N/D N/D  10 × 10 ″ N/D N/D N/D
Viagem Max XY opcional N/D N/D 16 × 16 ″ N/D N/D  16 × 16 ″ 16 × 16 ″ N/D N/D
Precisão N/D N/D 0.0004 " 0.0004 " 0.0002 " 0.0004 " 0.0001 " 40u ” 40u ”
Dimensões da câmara HWD 4x13x12 ″ 5.5x12x13 ″ 5.5x12x13 ″ 11x22x24 ″ 24x24x9 ″ 5.5x12x13 ″ 5.4x12x13 ″ 4x36x29 ″ 4x55x58 ″
PESO TOTAL
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg