Просмотрите спецификации для каждого измерительного прибора для покрытия ниже, и нажмите название серии, чтобы просмотреть подробную страницу устройства.
Примечание. XRF серии A соответствуют стандартам SEMI S2, S8.
| ТРУБ | СЕРИЯ G | В СЕРИЯ | P СЕРИЯ | L СЕРИЯ | СЕРИЯ K | О СЕРИЯ | СЕРИЯ M | СЕРИЯ W | СЕРИЯ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Микрофокусированный рентгеновский анод | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh | W/Cr/Mo/Rh |
| Путь рентгеновского излучения | Вверх дном | Сверху вниз | Сверху вниз | Сверху вниз | Сверху вниз | Сверху вниз | Сверху вниз | Сверху вниз | Сверху вниз |
| ДЕТЕКТОР | |||||||||
| Детектор дрейфа Si | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Нет | Нет | Нет |
| Детектор дрейфа Si с большим окном | По желанию | По желанию | По желанию | По желанию | По желанию | По желанию | Стандарт | Стандарт | Стандарт |
| РАЗМЕР ПУЧКА | |||||||||
| Одиночный коллиматор | Стандарт | Стандарт | Нет | Нет | Нет | Нет | Нет | Нет | Нет |
| Multi-коллиматоры | Нет | По желанию | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Нет | Нет | Нет | Нет |
| Капиллярная оптика FWHM | Нет | Нет | Нет | По желанию | Скоро будет! | 80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
| МЕСТНАЯ ГЛУБИНА | |||||||||
| Focus Laser / Автофокус | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт |
| Единая фиксированная фокусная глубина | Стандарт | Стандарт | Нет | Нет | Нет | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт |
| Многовариантные фокусные глубины | Нет | По желанию | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Нет | Нет | Нет | Нет |
| ВИДЕОСИСТЕМА | |||||||||
| 30X микро | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Нет | Нет | Нет | Нет |
| 55X микро | По желанию | По желанию | По желанию | По желанию | По желанию | Стандарт | Нет | Нет | Нет |
| 140X микро | Нет | Нет | Нет | Нет | Нет | Нет | Стандарт | Стандарт | Стандарт |
| Цифровой зум 7X | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт | Стандарт |
| 9-кратный макрос | Нет | Нет | Нет | Нет | Нет | Нет | Стандарт | Стандарт | Стандарт |
| Табличное представление | Нет | Нет | Нет | По желанию | По желанию | Нет | Стандарт | Стандарт | Стандарт |
| РАЗМЕРЫ СТАДИИ И КАМЕРЫ | |||||||||
| Управление Z | Автоматический | Автоматический | Автоматический | Автоматический | Автоматический | Автоматический | Автоматический | Программируемый | Программируемый |
| Z Путешествия | 1 " | 5.2 " | 5.2 " | 10 " | 9 " | 5.2 " | 5.2 " | 3.9 " | 3.9 " |
| Система исчисления | Нет | Исправлена | Программируемый | Программируемый | Программируемый | Программируемый | Программируемый | Программируемый | Программируемый |
| Стандартный XY Travel | Нет | Нет | 5 × 6 " | 10 × 10 " | 12 × 12 " | 5 × 6 " | 6.5 × 6.5 " | 12 × 16 " | 23 × 23 " |
| Дополнительно XY Travel | 1.5 × 1.5 " | Нет | 10 × 10 " | Нет | Нет | 10 × 10 " | Нет | Нет | Нет |
| Опционально Max XY Travel | Нет | Нет | 16 × 16 " | Нет | Нет | 16 × 16 " | 16 × 16 " | Нет | Нет |
| Точность | Нет | Нет | 0.0004 " | 0.0004 " | 0.0002 " | 0.0004 " | 0.0001 " | 40u ” | 40u ” |
| Размеры камеры HWD | 4x13x12 " | 5.5x12x13 " | 5.5x12x13 " | 11x22x24 " | 24x24x9 " | 5.5x12x13 " | 5.4x12x13 " | 4x36x29 " | 4x55x58 " |
| ОБЩИЙ ВЕС | |||||||||
| 25кг | 34кг | 52-70 кг | 110кг | 120кг | 52-70 кг | 70кг | 190кг | 1000кг | |
Сделано в США