Микро РФА серии А
Микро XRF серии A был разработан для точного измерения мельчайших элементов рентгеновского излучения, встречающихся в полупроводниках и микроэлектронике. Он вмещает очень большие панели печатных плат или пластины любого размера для полного охвата образца и многоточечной программируемой автоматизации.
В приборах Bowman серии A используется поликапиллярная оптика для фокусировки рентгеновского луча на полуширине 7.5 мкм, что является самым маленьким в мире прибором для анализа толщины покрытия с использованием приборов XRF. Камера с 140-кратным увеличением используется для измерения характеристик в этом масштабе; он сопровождается вторичной камерой с малым увеличением для просмотра образцов в реальном времени и макросъемки с высоты птичьего полета. Система с двумя камерами Bowman позволяет операторам видеть всю деталь, щелкать изображение, чтобы увеличить его с помощью камеры с большим магнитным полем, и точно определять функцию, которую необходимо запрограммировать и измерить.
Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма (600 мм) в каждом направлении может обрабатывать
самые большие образцы в отрасли. Столик имеет точность менее +/- 1 мкм по каждой оси и
используется для выбора и измерения нескольких точек; Программное обеспечение для распознавания образов Bowman и автофокус
функции также делают это автоматически. Встроенное в систему распознавание образов можно использовать для просмотра топографии покрытия на такой детали, как кремниевая пластина.
Вопросы? Хотите демо? Заинтересованы в обмене?
XRF серии A исключительно хорошо подходит клиентам со следующими требованиями к испытаниям:
- Чрезвычайно маленькие элементы на полупроводниках, разъемах, печатных платах
- Большие панели печатных плат
- Вафли любого размера
- Способность обрабатывать более 2 миллионов импульсов в секунду
- Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма в каждом направлении
- Возможность 3D-картографии
- Соответствие IPC-4552, 4553, 4554 и 4556, ASTM B568, ISO 3497 и SEMI S8.
- Готовность к чистым помещениям
Технические характеристики изделия
| Диапазон элементов: | Алюминий Al13 для урана U92 |
| Рентгеновская трубка: | 50 Вт Mo мишень Flex-Beam Capillary Optics @7.5 FWHM при 17 кэВ Дополнительно: Cr или W |
| Детектор: | Большое окно Кремниевый полупроводниковый SDD детектора с большим входным окном с разрешением 135eV или лучше |
| Количество слоев и элементов: |
5 слоев (4 слоя + основа) и по 10 элементов в каждом слое. Анализ состава до 25 элементов одновременно |
| Фильтры / коллиматоров: | Первичные фильтры 4 |
| Выходная глубина фокуса: | Фиксированный на 0.08 ″ (2.03 мм) |
| Цифровая импульсная обработка: | Цифровой многоканальный анализатор 4096 CH с гибким временем формирования. Автоматическая обработка сигнала, включая коррекцию мертвого времени и коррекцию пика выхода |
| Компьютер: | Intel, процессор CORE i5 9-го поколения (4.1 ГГц), 16 ГБ ОЗУ, Microsoft Windows 10 Prof, 64-разрядная версия |
| Видео камера: | 1/4″ CMOS-разрешение VGA 1280×720 |
| Увеличение видео: | 140-кратный микро и 7-кратный цифровой зум: 9-кратный макросъемка и просмотр таблицы |
| Источник питания: | 720W, 100 ~ 240 В; диапазон частот от 47Hz до 63Hz |
| Вес: | 1000kg (2200 фунтов) |
| Условия эксплуатации: | 68 ° F (20 ° C) до 77 ° F (25 ° C) и до 98% RH, без конденсата |
| Программируемая область XYZ: | XYZ ход: 600 мм (23.6 ″) x 600 мм (23.6 ″) x 100 мм (3.9 ″) Столешница XY: 560 мм (22 ″) x 585 мм (23 ″) Точность по осям X и Y: 1 мкм (40 мкм) Точность по оси Z: 1 мкм (40 мкм) |
| Внутренние размеры: | Высота: 100 мм (4 "), Ширина: 1400 мм (55"), Глубина: 1470 мм (58 ") |
| Внешние размеры: | Высота: 1780 мм (70 "), Ширина: 1470 мм (58"), Глубина: 1575 мм (62 ") |
| Другие новые функции: | Защитный массив Z, автофокус, лазерная фокусировка, распознавание образов, совместимость с Semi S2 S8 |
Сделано в США