СЕРИЯ А МИКРО XRF

Микро РФА серии А

Микрорентгенографическая система Bowman серии A

Микро XRF серии A был разработан для точного измерения мельчайших элементов рентгеновского излучения, встречающихся в полупроводниках и микроэлектронике. Он вмещает очень большие панели печатных плат или пластины любого размера для полного охвата образца и многоточечной программируемой автоматизации.

В приборах Bowman серии A используется поликапиллярная оптика для фокусировки рентгеновского луча на полуширине 7.5 мкм, что является самым маленьким в мире прибором для анализа толщины покрытия с использованием приборов XRF. Камера с 140-кратным увеличением используется для измерения характеристик в этом масштабе; он сопровождается вторичной камерой с малым увеличением для просмотра образцов в реальном времени и макросъемки с высоты птичьего полета. Система с двумя камерами Bowman позволяет операторам видеть всю деталь, щелкать изображение, чтобы увеличить его с помощью камеры с большим магнитным полем, и точно определять функцию, которую необходимо запрограммировать и измерить.

Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма (600 мм) в каждом направлении может обрабатывать
самые большие образцы в отрасли. Столик имеет точность менее +/- 1 мкм по каждой оси и
используется для выбора и измерения нескольких точек; Программное обеспечение для распознавания образов Bowman и автофокус
функции также делают это автоматически. Встроенное в систему распознавание образов можно использовать для просмотра топографии покрытия на такой детали, как кремниевая пластина.

Вопросы? Хотите демо? Заинтересованы в обмене?

            XRF серии A исключительно хорошо подходит клиентам со следующими требованиями к испытаниям:

            • Чрезвычайно маленькие элементы на полупроводниках, разъемах, печатных платах
            • Большие панели печатных плат
            • Вафли любого размера
            • Способность обрабатывать более 2 миллионов импульсов в секунду
            • Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма в каждом направлении
            • Возможность 3D-картографии
            • Соответствие IPC-4552, 4553, 4554 и 4556, ASTM B568, ISO 3497 и SEMI S8.
            • Готовность к чистым помещениям

            Технические характеристики изделия

            Диапазон элементов: Алюминий Al13 для урана U92
            Рентгеновская трубка: Мишень Mo мощностью 50 Вт. Капиллярная оптика @ 7.5 мкм на полуширине при 17 кэВ.
            Дополнительно: Cr или W
            Детектор: Большое окно Кремниевый полупроводниковый SDD детектора с большим входным окном с разрешением 190eV или лучше
            Количество
            слоев и элементов:
            5 слоев (4 слоя + основа) и по 10 элементов в каждом слое. Анализ состава до 30 элементов одновременно
            Фильтры / коллиматоров: Первичные фильтры 4
            Выходная глубина фокуса: Фиксированный на 0.08 ″ (2.03 мм)
            Цифровая импульсная обработка: Цифровой многоканальный анализатор 4096 CH с гибким временем формирования. Автоматическая обработка сигнала, включая коррекцию мертвого времени и коррекцию пика выхода
            Компьютер: Intel CORE i5 9-го поколения. процессор для настольных ПК, твердотельный жесткий диск, 16 ГБ ОЗУ, 11-битный эквивалент Microsoft Windows 64 Professional
            Видео камера: 1/4″ CMOS-разрешение VGA 1280×720
            Увеличение видео: 140-кратный микро и 7-кратный цифровой зум: 9-кратный макросъемка и просмотр таблицы
            Источник питания: 720W, 100 ~ 240 В; диапазон частот от 47Hz до 63Hz
            Вес: 1000kg (2200 фунтов)
            Условия эксплуатации: 68 ° F (20 ° C) до 77 ° F (25 ° C) и до 98% RH, без конденсата
            Программируемая область XYZ: XYZ ход: 600 мм (23.6 ″) x 600 мм (23.6 ″) x 89 мм (3.5 ″)
            Столешница XY: 559 мм (22 ″) x 584 мм (23 ″)
            Точность по оси XYZ: 1 мкм (40u”)
            Внутренние размеры: Высота: 102 мм (4 "), Ширина: 1397 мм (55"), Глубина: 1473 мм (58 ")
            Внешние размеры: Высота: 1778 мм (70 "), Ширина: 1473 мм (58"), Глубина: 1575 мм (62 ")
            Другие новые функции: Защитный массив Z, автофокус, лазерная фокусировка, распознавание образов, совместимость с Semi S2 S8

            У вас есть конкретные вопросы для нас?

            Свяжитесь с нами