Микро РФА серии А
Микро XRF серии A был разработан для точного измерения мельчайших элементов рентгеновского излучения, встречающихся в полупроводниках и микроэлектронике. Он вмещает очень большие панели печатных плат или пластины любого размера для полного охвата образца и многоточечной программируемой автоматизации.
В приборах Bowman серии A используется поликапиллярная оптика для фокусировки рентгеновского луча на полуширине 7.5 мкм, что является самым маленьким в мире прибором для анализа толщины покрытия с использованием приборов XRF. Камера с 140-кратным увеличением используется для измерения характеристик в этом масштабе; он сопровождается вторичной камерой с малым увеличением для просмотра образцов в реальном времени и макросъемки с высоты птичьего полета. Система с двумя камерами Bowman позволяет операторам видеть всю деталь, щелкать изображение, чтобы увеличить его с помощью камеры с большим магнитным полем, и точно определять функцию, которую необходимо запрограммировать и измерить.
Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма (600 мм) в каждом направлении может обрабатывать
самые большие образцы в отрасли. Столик имеет точность менее +/- 1 мкм по каждой оси и
используется для выбора и измерения нескольких точек; Программное обеспечение для распознавания образов Bowman и автофокус
функции также делают это автоматически. Встроенное в систему распознавание образов можно использовать для просмотра топографии покрытия на такой детали, как кремниевая пластина.
Вопросы? Хотите демо? Заинтересованы в обмене?
XRF серии A исключительно хорошо подходит клиентам со следующими требованиями к испытаниям:
- Чрезвычайно маленькие элементы на полупроводниках, разъемах, печатных платах
- Большие панели печатных плат
- Вафли любого размера
- Способность обрабатывать более 2 миллионов импульсов в секунду
- Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма в каждом направлении
- Возможность 3D-картографии
- Соответствие IPC-4552, 4553, 4554 и 4556, ASTM B568, ISO 3497 и SEMI S8.
- Готовность к чистым помещениям
Технические характеристики изделия
Диапазон элементов: | Алюминий Al13 для урана U92 |
Рентгеновская трубка: | Мишень Mo мощностью 50 Вт. Капиллярная оптика @ 7.5 мкм на полуширине при 17 кэВ. Дополнительно: Cr или W |
Детектор: | Большое окно Кремниевый полупроводниковый SDD детектора с большим входным окном с разрешением 190eV или лучше |
Количество слоев и элементов: |
5 слоев (4 слоя + основа) и по 10 элементов в каждом слое. Анализ состава до 30 элементов одновременно |
Фильтры / коллиматоров: | Первичные фильтры 4 |
Выходная глубина фокуса: | Фиксированный на 0.08 ″ (2.03 мм) |
Цифровая импульсная обработка: | Цифровой многоканальный анализатор 4096 CH с гибким временем формирования. Автоматическая обработка сигнала, включая коррекцию мертвого времени и коррекцию пика выхода |
Компьютер: | Intel CORE i5 9-го поколения. процессор для настольных ПК, твердотельный жесткий диск, 16 ГБ ОЗУ, 11-битный эквивалент Microsoft Windows 64 Professional |
Видео камера: | 1/4″ CMOS-разрешение VGA 1280×720 |
Увеличение видео: | 140-кратный микро и 7-кратный цифровой зум: 9-кратный макросъемка и просмотр таблицы |
Источник питания: | 720W, 100 ~ 240 В; диапазон частот от 47Hz до 63Hz |
Вес: | 1000kg (2200 фунтов) |
Условия эксплуатации: | 68 ° F (20 ° C) до 77 ° F (25 ° C) и до 98% RH, без конденсата |
Программируемая область XYZ: | XYZ ход: 600 мм (23.6 ″) x 600 мм (23.6 ″) x 89 мм (3.5 ″) Столешница XY: 559 мм (22 ″) x 584 мм (23 ″) Точность по оси XYZ: 1 мкм (40u”) |
Внутренние размеры: | Высота: 102 мм (4 "), Ширина: 1397 мм (55"), Глубина: 1473 мм (58 ") |
Внешние размеры: | Высота: 1778 мм (70 "), Ширина: 1473 мм (58"), Глубина: 1575 мм (62 ") |
Другие новые функции: | Защитный массив Z, автофокус, лазерная фокусировка, распознавание образов, совместимость с Semi S2 S8 |