СЕРИЯ А МИКРО XRF

Микро РФА серии А

Микрорентгенографическая система Bowman серии A

Микро XRF серии A был разработан для точного измерения мельчайших элементов рентгеновского излучения, встречающихся в полупроводниках и микроэлектронике. Он вмещает очень большие панели печатных плат или пластины любого размера для полного охвата образца и многоточечной программируемой автоматизации.

В приборах Bowman серии A используется поликапиллярная оптика для фокусировки рентгеновского луча на полуширине 7.5 мкм, что является самым маленьким в мире прибором для анализа толщины покрытия с использованием приборов XRF. Камера с 140-кратным увеличением используется для измерения характеристик в этом масштабе; он сопровождается вторичной камерой с малым увеличением для просмотра образцов в реальном времени и макросъемки с высоты птичьего полета. Система с двумя камерами Bowman позволяет операторам видеть всю деталь, щелкать изображение, чтобы увеличить его с помощью камеры с большим магнитным полем, и точно определять функцию, которую необходимо запрограммировать и измерить.

Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма (600 мм) в каждом направлении может обрабатывать
самые большие образцы в отрасли. Столик имеет точность менее +/- 1 мкм по каждой оси и
используется для выбора и измерения нескольких точек; Программное обеспечение для распознавания образов Bowman и автофокус
функции также делают это автоматически. Встроенное в систему распознавание образов можно использовать для просмотра топографии покрытия на такой детали, как кремниевая пластина.

Вопросы? Хотите демо? Заинтересованы в обмене?

            XRF серии A исключительно хорошо подходит клиентам со следующими требованиями к испытаниям:

            • Чрезвычайно маленькие элементы на полупроводниках, разъемах, печатных платах
            • Большие панели печатных плат
            • Вафли любого размера
            • Способность обрабатывать более 2 миллионов импульсов в секунду
            • Программируемый столик XY с перемещением на 23.6 дюйма в каждом направлении
            • Возможность 3D-картографии
            • Соответствие IPC-4552 A/B, 4553A, 4554 и 4556, ASTM B568, DIN 50987 и ISO 3497
            • Готовность к чистым помещениям

            Спецификация

            Диапазон элементов: Алюминий Al13 для урана U92
            Рентгеновская трубка: 50 Вт Mo мишень Капиллярная оптика Flex-Beam @7.5 FWHM Дополнительно: Cr или W
            Детектор: Большое окно Кремниевый полупроводниковый SDD детектора с большим входным окном с разрешением 135eV или лучше
            Количество
            слоев и элементов:
            5 слоев (4 слоя + основа) и по 10 элементов в каждом слое. Анализ состава до 25 элементов одновременно
            Фильтры / коллиматоров: Первичные фильтры 4
            Выходная глубина фокуса: Фиксированный на 0.08 ″ (2.03 мм)
            Цифровая импульсная обработка: Цифровой многоканальный анализатор 4096 CH с гибким временем формирования. Автоматическая обработка сигнала, включая коррекцию мертвого времени и коррекцию пика выхода
            Компьютер: Intel, процессор CORE i5 9-го поколения (4.1 ГГц), 16 ГБ ОЗУ, Microsoft Windows 10 Prof, 64-разрядная версия
            Видео камера: 1/4″ CMOS-разрешение VGA 1280×720
            Увеличение видео: 140-кратный микро и 7-кратный цифровой зум: 9-кратный макросъемка и просмотр таблицы
            Источник питания: 720W, 100 ~ 240 В; диапазон частот от 47Hz до 63Hz
            Вес: 1000kg (2200 фунтов)
            Условия эксплуатации: 68 ° F (20 ° C) до 77 ° F (25 ° C) и до 98% RH, без конденсата
            Программируемая область XYZ: XYZ ход: 600 мм (23.6 ″) x 600 мм (23.6 ″) x 100 мм (3.9 ″)
            Столешница XY: 560 мм (22 ″) x 585 мм (23 ″)
            Точность по осям X и Y: 1 мкм (40 мкм)
            Точность по оси Z: 1 мкм (40 мкм)
            Внутренние размеры: Ширина: 1400 мм (55 дюймов), глубина: 1470 мм (58 дюймов), высота: 100 мм (4 дюйма)
            Внешние размеры: Ширина: 1470 мм (58 дюймов), глубина: 1575 мм (62 дюймов), высота: 1780 мм (70 дюйма)
            Другие новые функции: Защитный массив Z, автофокус, лазерная фокусировка, распознавание образов, совместимость с Semi S2 S8

            У вас есть конкретные вопросы для нас?

            Свяжитесь с нами