Серия M является высочайшим в высокопроизводительных измерениях толщины покрытия для мельчайших деталей. Поликапиллярная оптика в серии М более продвинута, чем Серия O, фокусируя рентгеновский луч на ширине полуширины 7.5 мкм. Для измерения характеристик в этом масштабе в комплект входит камера с 140-кратным увеличением и еще большим цифровым зумом. Поле зрения становится более ограниченным с большим увеличением, поэтому вторая камера делает макроизображение детали, которую нужно измерить. Система с двумя камерами позволяет операторам видеть всю деталь, щелкать изображение, чтобы увеличить его с помощью крупноформатной камеры, и точно определить объект, который необходимо измерить.

Высокоточный программируемый столик XY может использоваться для выбора и измерения нескольких точек; программное обеспечение распознавания образов позволяет сделать это автоматически. Система отображения поверхности 2-D, позволяет получить топографию покрытия поверхности детали, такой как кремниевая пластина.

Стандартная конфигурация включает оптику 7.5 мкм и SDD-детектор высокого разрешения для обработки более высоких скоростей счета. Программируемый столик образца XY также является стандартным. Оптическая система имеет близкое фокусное расстояние, поэтому образцы, измеренные с помощью серии M, должны быть плоскими.

Теперь доступна опция расширенного этапа