A 系列微型 XRF

A 系列微型 XRF

Bowman A 系列微型 XRF 系统

A 系列微型 XRF 专为精确测量半导体和微电子领域中最小的 X 射线特征而设计。 它可容纳非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圆,以实现完整的样品覆盖和多点可编程自动化。

Bowman 的 A 系列使用多毛细管光学器件将 X 射线束聚焦到 7.5 μm FWHM,这是使用 XRF 仪器进行涂层厚度分析的世界上最小的。 140X 放大相机用于测量该比例的特征; 它配有一个辅助低放大倍率相机,用于实时查看样品和鸟瞰宏观视图成像。 Bowman 的双摄像头系统让操作员可以看到整个零件,单击图像以使用高倍率摄像头进行缩放,并精确定位要编程和测量的特征。

可编程 XY 平台在每个方向上移动 23.6 英寸(600 毫米),可以处理
业内最大的样本。 该平台的每个轴的精度小于 +/- 1 μm,并且是
用于选择和测量多个点; Bowman 模式识别软件和自动对焦
功能也会自动执行此操作。 该系统的内置模式识别可用于查看零件(例如硅晶片)上涂层的形貌。

有什么问题吗想要演示吗? 有兴趣以旧换新?

            A 系列 XRF 非常适合具有以下测试要求的客户:

            • 半导体、连接器、PCB 上的极小特征
            • 大型PCB面板
            • 任何尺寸的晶圆
            • 每秒处理超过 2 万个计数的能力
            • 可编程 XY 平台,每个方向移动 23.6 英寸
            • 3D 映射能力
            • 符合 IPC-4552 A/B、4553A、4554 和 4556、ASTM B568、DIN 50987 和 ISO 3497
            • 洁净室就绪

            产品规格

            元素测量范围: 13号铝元素 到 92号铀元素
            X射线管: 50 W Mo 目标 Flex-Beam 毛细管光学元件 @7.5 FWHM 可选:Cr 或 W
            探测器: 优于135eV分辨率的大窗口硅漂移探测器
            分析层数
            及元素数:
            5 层(4 层 + 基础),每层 10 个元素。 同时分析多达 25 种元素的成分
            滤波器/准直器: 4位置一次滤波器
            输出焦深: 固定为0.08英寸(2.03毫米)
            数字脉冲处理: 具有灵活整形时间的 4096 CH 数字多通道分析仪。 自动信号处理,包括死区时间校正和逃逸峰校正
            计算机: Intel,CORE i5 第 9 代处理器 (4.1 GHz),16GB RAM,Microsoft Windows 10 Prof,64 位
            相机: 1/4″ CMOS-1280×720 VGA分辨率
            视频放大倍率: 140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View
            电源: 720W,100〜240V; 频率范围为47Hz到63Hz
            重量: 1000kg(2200磅)
            工作环境: 温度介于68°F(20°C)与77°F(25°C)之间,相对湿度小于98%,无冷凝
            可编程XYZ平台: XYZ行程:600毫米(23.6英寸)x 600毫米(23.6英寸)x 100毫米(3.9英寸)
            XY桌面:560mm(22“)x 585mm(23”)
            X & Y 轴精度:1um (40u”)
            Z轴精度:1um (40u”)
            样品仓尺寸: 宽度:1400 毫米(55 英寸),深度:1470 毫米(58 英寸),高度:100 毫米(4 英寸)
            外形尺寸: 宽度:1470 毫米(58 英寸),深度:1575 毫米(62 英寸),高度:1780 毫米(70 英寸)
            其他新特征: Z 保护阵列、自动对焦、聚焦激光、图案识别、Semi S2 S8 兼容就绪

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