M系列 是用于最小特征的高性能电镀厚度测量的终极产品。 M系列中的多毛细管光学元件比 O系列，将 X 射线束聚焦到 7.5μm FWHM。 为了在该尺度上测量特征，包括具有更高数码变焦的 140 倍放大率相机。 随着放大倍数的增加，视野变得更加受限，因此第二台相机拍摄要测量的零件的宏观图像。 双摄像头系统允许操作员查看整个零件，单击图像以使用高磁力摄像头放大，并精确定位要测量的特征。
高精度可编程XY平台可用于选择和测量多个点; 模式识别软件也可以自动执行该操作。2-D连续扫描功能可查看硅片等部件表面区域的涂层形貌。
标准配置包括 15μm 光学元件和高分辨率 LSDD 检测器，以处理更高的计数率。可编程 XY 样品台也是标准配置。光学系统焦距较近，因此使用 M 系列测量的样品必须是平的。
现在提供扩展阶段选项
性能表现
| 镍钯金 | 化学镍 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 微米金 | 微米钯 | 微米镍 | 微米NiP | 微米％P | |
| Ave | 0.043 | 0.08 | 3.72 | 10.202 | 10.17 |
| StdDev | 0.0005 | 0.0009 | 0.00010 | 0.1089 | 0.29 |
| 范围 | 0.0015 | 0.0030 | 0.040 | 0.3863 | 0.9900 |
| %RSD | 1.05% | 1.13% | 0.03% | 1.07% | 2.85% |
有什么问题吗想要演示吗？ 有兴趣以旧换新？
M系列可满足以下类型用户的需求：
- 非常小的样品，主要应用于半导体，连接器或PCB领域
- 需要测试多个样品的多个位置
- 非常薄的涂层（<100nm）
- 需要在短时间内完成测量（1-5秒）
- 保证符合 IPC-4552、4553、4554 和 4556
- ASTM B568 和 ISO 3497
- 渴望升级旧的XRF的性能和效率–并获得丰厚的以旧换新奖励！
产品规格
| X射线管： | 50W 钨靶毛细管光学元件 @15µm FWHM @ 17 KeV 可选：Cr、Mo 或 Rh |
| 探测器： | 优于190eV分辨率的大窗口硅漂移探测器 |
| 分析层数 及元素数： |
5层（4层+基材） 每层可分析10种元素，成分分析最多可分析30种元素 |
| 过滤器： | 4位置一次滤波器 |
| 输出焦深： | 固定为0.15英寸（3.81毫米） |
| 数字脉冲处理： | 4096 多通道数字处理器，自动死时间和逃逸峰校正 |
| 计算机： | Intel CORE i5 第 9 代台式机处理器、固态硬盘、16GB RAM、Microsoft Windows 11 Professional 64 位等效版本 |
| 相机： | 1/4英寸（6毫米）CMOS-1280×720 VGA分辨率，在250毫米（45英寸）屏幕上，双摄像头为381倍，单摄像头为15倍 |
| 视频放大倍率： | 140X 微型、7X 数字变焦、9X 微距和表格视图 |
| 电源： | 150W，100-240V，频率范围为47Hz至63Hz |
| 工作环境： | 温度介于68°F（20°C）与77°F（25°C）之间，相对湿度小于98％，无冷凝 |
| 重量： | 70kg |
| 可编程XY平台： | 工作台尺寸：432毫米（17英寸）x 406毫米（16英寸）| 行程：165毫米（6.5英寸）x 165毫米（6.5英寸）高精度 |
| 最大扩展可编程 XY： | 工作台尺寸：813mm (32″) x 781mm (30.75″) | 行程：406mm (16″) x 406mm (16″) 现在可用 最大延伸 舞台选择 |
| 样品仓尺寸： | 高度：137 毫米 (5.4 英寸)，宽度：305 毫米 (12 英寸)，深度：330 毫米 (13 英寸) |
| 外形尺寸： | 高度：508mm（20"），宽度：457mm（18"），深度：610mm（24"） |
美国制造