M系列 是用于最小特征的高性能电镀厚度测量的终极产品。 M系列中的多毛细管光学元件比 O系列,将 X 射线束聚焦到 7.5μm FWHM。 为了在该尺度上测量特征,包括具有更高数码变焦的 140 倍放大率相机。 随着放大倍数的增加,视野变得更加受限,因此第二台相机拍摄要测量的零件的宏观图像。 双摄像头系统允许操作员查看整个零件,单击图像以使用高磁力摄像头放大,并精确定位要测量的特征。
高精度可编程XY平台可用于选择和测量多个点; 模式识别软件也可以自动执行该操作。2-D连续扫描功能可查看硅片等部件表面区域的涂层形貌。
标准配置包括 15μm 光学元件和高分辨率 LSDD 检测器,以处理更高的计数率。可编程 XY 样品台也是标准配置。光学系统焦距较近,因此使用 M 系列测量的样品必须是平的。
现在提供扩展阶段选项
性能表现
镍钯金 | 化学镍 | ||||
---|---|---|---|---|---|
微米金 | 微米钯 | 微米镍 | 微米NiP | 微米%P | |
Ave | 0.043 | 0.08 | 3.72 | 10.202 | 10.17 |
StdDev | 0.0005 | 0.0009 | 0.00010 | 0.1089 | 0.29 |
范围 | 0.0015 | 0.0030 | 0.040 | 0.3863 | 0.9900 |
%RSD | 1.05% | 1.13% | 0.03% | 1.07% | 2.85% |
有什么问题吗想要演示吗? 有兴趣以旧换新?
M系列可满足以下类型用户的需求:
- 非常小的样品,主要应用于半导体,连接器或PCB领域
- 需要测试多个样品的多个位置
- 非常薄的涂层(<100nm)
- 需要在短时间内完成测量(1-5秒)
- 保证符合 IPC-4552、4553、4554 和 4556
- ASTM B568 和 ISO 3497
- 渴望升级旧的XRF的性能和效率–并获得丰厚的以旧换新奖励!
产品规格
X射线管: | 50W 钨靶毛细管光学元件 @15µm FWHM @ 17 KeV 可选:Cr、Mo 或 Rh |
探测器: | 优于190eV分辨率的大窗口硅漂移探测器 |
分析层数 及元素数: |
5层(4层+基材) 每层可分析10种元素,成分分析最多可分析30种元素 |
过滤器: | 4位置一次滤波器 |
输出焦深: | 固定为0.15英寸(3.81毫米) |
数字脉冲处理: | 4096 多通道数字处理器,自动死时间和逃逸峰校正 |
计算机: | Intel CORE i5 第 9 代台式机处理器、固态硬盘、16GB RAM、Microsoft Windows 11 Professional 64 位等效版本 |
相机: | 1/4英寸(6毫米)CMOS-1280×720 VGA分辨率,在250毫米(45英寸)屏幕上,双摄像头为381倍,单摄像头为15倍 |
视频放大倍率: | 140X 微型、7X 数字变焦、9X 微距和表格视图 |
电源: | 150W,100-240V,频率范围为47Hz至63Hz |
工作环境: | 温度介于68°F(20°C)与77°F(25°C)之间,相对湿度小于98%,无冷凝 |
重量: | 70kg |
可编程XY平台: | 工作台尺寸:432毫米(17英寸)x 406毫米(16英寸)| 行程:165毫米(6.5英寸)x 165毫米(6.5英寸)高精度 |
最大扩展可编程 XY: | 工作台尺寸:813mm (32″) x 781mm (30.75″) | 行程:406mm (16″) x 406mm (16″) 现在可用 最大延伸 舞台选择 |
样品仓尺寸: | 高度:137 毫米 (5.4 英寸),宽度:305 毫米 (12 英寸),深度:330 毫米 (13 英寸) |
外形尺寸: | 高度:508mm(20"),宽度:457mm(18"),深度:610mm(24") |