O系列

O系列

用于半导体的Bowman品牌XRF

O系列 采用毛细管光学结构,拥有精准的测试性能,同时能实现极小的X射线光斑尺寸。该系列用毛细管结构取代了安装在博曼标准机型中的准直器组件。由于多导毛细管可以传递数百倍的能量信号,可以有效提高到达样品表面的入射X射线强度。O系列配备高分辨率的SDD探测器,在短时间内捕捉并处理大量数据,在短时间内满足极小斑点的测量的同时获取精准的测量结果(准确性和重复性)。

该系列采用80μm毛细管光学结构,同时配备可处理更高计数速率的高分辨率SDD硅漂移探测器。与 P系列其他型号相比,O系列的相机具有更大的放大倍数,45x视频放大和5x数码变焦。一个可编程的XY样品台也是标准配置。O系列的焦距非常接近,所以使用时样品必须平整。

性能表现

镍钯金 化学镍
μmAu μmPd μmNi μmNiP μm%P
Ave 0.0427 0.08 3.72 10.2015 10.17
StdDev 0.00045 0.0009 0.000985 0.1089 0.29
Range 0.0015 0.003 0.0395 0.3863 0.99
%RSD 1.053% 1.121% 0.265% 1.067% 2.85%

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O系列可满足以下类型用户的需求:

  • 极小的样品,如半导体,连接器或PCB
  • 需要测试多个样品的多个位置
  • 需要测量非常薄的涂层(<100nm)
  • 需要在短时间内完成测量(1-5秒)
  • 保证符合IPC-4552A,4553A,4554和4556
  • ASTM B568,DIN 50987和ISO 3497

产品规格

X射线管: 50 W 钼靶射线管 80um毛细管光学结构
探测器: 135eV分辨率的硅漂移探测器
分析层数
及元素数:
5层(4层+基材) 每层可分析10种元素,成分分析最多可分析25种元素
滤波器/准直器: 2位置一次滤波器
焦距: 固定焦距(0.1")
数字脉冲处理: 4096 多通道数字处理器,自动死时间和逃逸峰校正
计算机: 英特尔, 酷睿 i5 3470 处理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 内存, 微软 Windows 10 专业版, 64位
相机: 1 / 4“CMOS-1280×720 VGA分辨率,250X双摄像头或45X单摄像头
电源: 150W,100-240V,频率范围为47Hz至63Hz
工作环境: 温度介于68°F(20°C)与77°F(25°C)之间,相对湿度小于98%,无冷凝
重量: 53kg
可编程XY平台: 平台尺寸:15“x 13"| 行程:6“x 5”
样品仓尺寸: 高度:140mm(5.5"),宽度:310mm(12"),深度:340mm(13")
外形尺寸: 高度:450mm(18"),宽度:450mm(18"),深度:600mm(24")