O系列

O系列

用于半导体的Bowman品牌XRF

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O系列 结合了高性能和小X射线光斑尺寸。 这可以通过多毛细管聚焦光学系统实现,该系统取代了安装在标准Bowman系统中的准直器组件。 光学器件设计用于将来自管出口窗口的X射线聚焦到非常小的光斑尺寸(80μmFWHM),同时保持几乎100%的管通量。 因此,与准直器系统的情况一样,聚乙烯毛细管光学组件几乎不允许来自管的所有X射线到达样品,而不是衰减不能穿过小孔的X射线。 结果对于测试非常小的部件或薄涂层具有更高的灵敏度。 在比较光学系统与类似尺寸的准直器时,更短的测试时间可以实现更好的可重复性。

该系列采用80μm毛细管光学结构,同时配备可处理更高计数速率的高分辨率SDD硅漂移探测器。与 P系列其他型号相比,O系列的相机具有更大的放大倍数,45x视频放大和5x数码变焦。一个可编程的XY样品台也是标准配置。O系列的焦距非常接近,所以使用时样品必须平整。

现在提供扩展阶段选项

性能表现

镍钯金 化学镍
μmAu μmPd μmNi μmNiP μm%P
Ave 0.0427 0.08 3.72 10.2015 10.17
StdDev 0.00045 0.0009 0.000985 0.1089 0.29
Range 0.0015 0.003 0.0395 0.3863 0.99
%RSD 享受1.053% 享受1.121% 享受0.265% 享受1.067% 享受2.85%

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O系列可满足以下类型用户的需求:

  • 极小的样品,如半导体,连接器或PCB
  • 需要测试多个样品的多个位置
  • 需要测量非常薄的涂层(<100nm)
  • 需要在短时间内完成测量(1-5秒)
  • 保证符合IPC-4552A,4553A,4554和4556
  • ASTM B568,DIN 50987和ISO 3497

产品规格

X射线管: 50 W 钼靶射线管 80um毛细管光学结构
探测器: 135eV分辨率的硅漂移探测器
分析层数
及元素数:
5层(4层+基材) 每层可分析10种元素,成分分析最多可分析25种元素
滤波器/准直器: 2位置一次滤波器
焦距: 固定在0.1“(0.254mm)
数字脉冲处理: 4096 多通道数字处理器,自动死时间和逃逸峰校正
计算机: 英特尔, 酷睿 i5 3470 处理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 内存, 微软 Windows 10 专业版, 64位
相机: 1 / 4“(6mm)CMOS-1280×720 VGA分辨率,带双摄像头的250X或45上带单摄像头的15X”屏幕
视频放大倍率: 45x:配备双摄像头50x:15上的单摄像头“屏幕
电源: 150W,100-240V,频率范围为47Hz至63Hz
工作环境: 温度介于68°F(20°C)与77°F(25°C)之间,相对湿度小于98%,无冷凝
重量: 53kg
可编程XY平台: 表大小:381mm(15“)x 340mm(13”)| 行程:152mm(6“)x 127mm(5”)
现在可用 扩展 舞台选择
样品仓尺寸: 高度:140mm(5.5"),宽度:310mm(12"),深度:340mm(13")
外形尺寸: 高度:450mm(18"),宽度:450mm(18"),深度:600mm(24")

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