博曼测厚仪机型对比

点击型号了解产品详情,具体规格及性能按实际情况确定。
注意:A 系列 XRF 符合 SEMI S2、S8 标准

X射线管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列
准直/光学
O系列 M系列 W系列 一系列的
阳极靶材 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑
X射线照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探测器
SDD硅漂移探测器 标准版 标准版 标准版 标准版 收藏: 标准
光学:N/A
标准版
大窗口硅漂移探测器 可选 可选 可选 可选 Coll:可选
光学:标准
可选 标准版 标准版 标准版
光斑尺寸
单个准直器 标准版 标准版
多个准直器 可选 标准版 标准版 收藏: 标准
光学:N/A
毛细管光学结构 可选 核数: N/A
光学:15um
80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自动聚焦 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版
单个固定焦距 标准版 标准版 核数: N/A
光学:标准
标准版  标准版 标准版 标准版
可变焦距 可选 标准版 标准版 收藏: 标准
光学:N/A
视频放大倍率
30X 微型 标准版 标准版 标准版 标准版 收藏: 标准
光学:N/A
55X 微型 可选 可选 可选 可选 Coll:可选
光学:N/A
标准版
140X 微型 核数: N/A
光学:标准
标准版 标准版 标准版
7倍数码变焦 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版 标准版
9X 微距 核数: N/A
光学:标准
标准版 标准版 标准版
表格检视 可选 Coll:可选
光学:标准
标准版 标准版 标准版
平台&外形尺寸
Z轴控制方式 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 可编程 可编程
Z轴行程 1" 5.2" 5.2" 9.75" 尺寸:8.75 英寸
光学元件:8.5英寸
5.2" 4.9" 3.5" 3.5"
基值 固定 可编程 可编程 可编程  可编程 可编程 可编程 可编程
标准XY行程 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可选XY行程 1.5 × 1.5" 10 × 10"  10 × 10"
可选的Max XY Travel 16 × 16"  16 × 16" 16 × 16"
平台精度 0.0004" 0.0004" 尺寸:0.0004 英寸
光学:<80u”
0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
样品仓尺寸(高*宽*深) 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 10x22x24“ 9x24x24“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x36x29“ 4x55x58“
总重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg