博曼测厚仪机型对比

点击型号了解产品详情,具体规格及性能按实际情况确定。
注意:A 系列 XRF 符合 SEMI S2、S8 标准

X射线管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
阳极靶材 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑
X射线照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探测器
SDD硅漂移探测器 普通 普通 普通 普通 普通 普通
大窗口硅漂移探测器 可选 可选 可选 可选 可选 可选 普通 普通 普通
光斑尺寸
单个准直器 普通 普通
多个准直器 可选 普通 普通 普通
毛细管光学结构 可选 即将推出! 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自动聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
单个固定焦距 普通 普通 普通  普通 普通 普通
可变焦距 可选 普通 普通 普通
视频放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通
55X 微型 可选 可选 可选 可选 可选 普通
140X 微型 普通 普通 普通
7倍数码变焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 普通 普通 普通
表格检视 可选 可选 普通 普通 普通
平台&外形尺寸
Z轴控制方式 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 可编程 可编程
Z轴行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 固定 可编程 可编程 可编程  可编程 可编程 可编程 可编程
标准XY行程 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可选XY行程 1.5 × 1.5" 10 × 10"  10 × 10"
可选的Max XY Travel 16 × 16"  16 × 16" 16 × 16"
平台精度 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
样品仓尺寸(高*宽*深) 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x36x29“ 4x55x58“
总重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg