O系列XRF

O系列XRF

用於半導體的Bowman品牌XRF

O系列 結合了高性能和小的X射線光斑尺寸。 多毛細管聚焦光學系統可以取代標準Bowman系統中安裝的准直儀組件,從而實現這一目標。 光學器件旨在將來自管出口窗口的X射線聚焦到非常小的光斑尺寸(80μmFWHM),同時保留幾乎100%的管通量。 因此,與准直儀系統一樣,多毛細管光學組件不會衰減無法穿過小孔的X射線,而是允許幾乎所有來自管的X射線到達樣品。 結果對於測試非常小的組件或薄塗層的靈敏度更高。 比較光學系統和類似尺寸的准直儀時,較短的測試時間可以實現更好的可重複性。

標配包含80μm光學組件,以及可處理更高計數速率的高分辨率SDD檢測器。 與P系列等其他型號相比,相機具有更大的放大倍率,視頻放大倍數為45倍與高5倍的數碼變焦。 一個可編程的X-Y樣品台也是標準配置。 光學系統的焦距非常接近,所以O系列樣品必須平整。

現在提供擴展階段選項

應用性能

ENEPIG 無電解鎳
微米金 微米鈀 微米鎳 微米NiP 微米%P
平均 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
標準差 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
範圍 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
%RSD 1.05% OFF 1.13% OFF 0.03% OFF 1.07% OFF 2.85% OFF

 

有什麼問題嗎想要演示嗎? 有興趣以舊換新?

O系列XRF最適用以下需求的客戶:

  • 非常小的零件/測點,如半導體、連接器或PCB
  • 要求測試每批新材料的許多樣品或測點
  • 需要測量非常薄的塗層(<100nm)
  • 非常短的測量時間(1-5秒)
  • 保證符合IPC-4552A,4553A,4554和4556
  • ASTM B568,DIN 50987和ISO 3497
  • 渴望升級舊的XRF的性能和效率–並獲得豐厚的以舊換新獎勵!

產品規格

X射線激發: 帶毛細管光學元件的50 W Mo靶@80um FWHM
檢測器: 矽漂移探測器135eV分辨率
分析數量
圖層和元素:
5層 (4層 + 底材) 及10種元素在不同層以及可同時分析高達25種元素成份
過濾器/準直儀: 2主要過濾器
焦點深度: 固定為0.1英寸(2.54mm)
數字脈衝處理: 4096 CH數字多通道分析儀,靈活的整形時間自動信號處理,包括死區時間​​校正和逃逸峰值校正
計算機: Intel, CORE i5 3470 處理器 3.2GHz, 8GB DDR3記憶體, 微軟 Windows 10 專業版 64位元作業系統
相機光學: 1/4英寸(6毫米)CMOS-1280×720 VGA分辨率,雙攝像頭為250倍,單攝像頭為45倍,屏幕為15英寸
視頻放大: 45x:配備雙攝像頭50x:15上的單攝像頭“屏幕
電源: 150瓦, 100~240 伏特, 47Hz 到 63Hz的頻率範圍
工作環境: 68°F(20℃)至77°F(25℃)和高達98%RH,無冷凝
重量: 53kg
可編程XY: 工作台尺寸:381毫米(15英寸)x 340毫米(13英寸)| 行程:152毫米(6英寸)x 127毫米(5英寸)
現在可用 擴展 舞台選擇
內部尺寸: 高度:140mm (5.5″),寬度:310mm (12″),深度:340mm (13″)
外部尺寸: 高度:450mm(18“),寬度:450mm(18”),深度:600mm(24“)

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