O系列XRF

O系列XRF

用於半導體的Bowman品牌XRF

O系列 結合了高性能和小X射線光斑尺寸。 這可以通過多毛細管聚焦光學系統實現,該系統取代了安裝在標準Bowman系統中的准直器組件。 光學器件設計用於將來自管出口窗口的X射線聚焦到非常小的光斑尺寸(80μmFWHM),同時保持幾乎100%的管通量。 因此,與准直器系統的情況一樣,聚乙烯毛細管光學組件幾乎不允許來自管的所有X射線到達樣品,而不是衰減不能穿過小孔的X射線。 結果對於測試非常小的部件或薄塗層具有更高的靈敏度。 在比較光學系統與類似尺寸的准直器時,更短的測試時間可以實現更好的可重複性。

標準配置包括80μm光學器件,以及可處理更高計數率的高分辨率SDD探測器。 與其他型號相比,相機具有更大的放大倍率 P系列,45x視頻放大倍率和5x更高的數碼變焦。 可編程XY樣品台也是標準配置。 光學系統具有非常接近的焦距,因此O系列樣品必須是平坦的。

現在提供擴展階段選項

應用性能

ENEPIG 無電解鎳
μmAu μmPd μmNi μmNiP μm%P
平均 0.0427 0.08 3.72 10.2015 10.17
標準差 0.00045 0.0009 0.000985 0.1089 0.29
範圍 0.0015 0.003 0.0395 0.3863 0.99
%RSD 1.053% 1.121% 0.265% 1.067% 2.85%

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O系列XRF最適用以下需求的客戶:

  • 非常小的零件/測點,如半導體、連接器或PCB
  • 要求測試每批新材料的許多樣品或測點
  • 需要測量非常薄的塗層(<100nm)
  • 非常短的測量時間(1-5秒)
  • 保證符合IPC-4552A,4553A,4554和4556
  • ASTM B568,DIN 50987和ISO 3497

產品規格

X射線激發: 帶毛細管光學元件的50 W Mo靶@80um FWHM
檢測器: 矽漂移探測器135eV分辨率
分析數量
圖層和元素:
5層 (4層 + 底材) 及10種元素在不同層以及可同時分析高達25種元素成份
過濾器/準直儀: 2主要過濾器
焦點深度: 固定在0.1“(0.254mm)
數字脈衝處理: 4096 CH數字多通道分析儀,靈活的整形時間自動信號處理,包括死區時間​​校正和逃逸峰值校正
計算機: Intel, CORE i5 3470 處理器 3.2GHz, 8GB DDR3記憶體, 微軟 Windows 10 專業版 64位元作業系統
相機光學: 1 / 4“(6mm)CMOS-1280×720 VGA分辨率,帶雙攝像頭的250X或45上帶單攝像頭的15X”屏幕
視頻放大: 45x:配備雙攝像頭50x:15上的單攝像頭“屏幕
電源: 150瓦, 100~240 伏特, 47Hz 到 63Hz的頻率範圍
工作環境: 68°F(20℃)至77°F(25℃)和高達98%RH,無冷凝
重量: 53kg
可編程XY: 表大小:381mm(15“)x 340mm(13”)| 行程:152mm(6“)x 127mm(5”)
現在可用 擴展 舞台選擇
內部尺寸: 高度:140mm (5.5″),寬度:310mm (12″),深度:340mm (13″)
外部尺寸: 高度:450mm(18“),寬度:450mm(18”),深度:600mm(24“)

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