XRF 鍍層厚度測量比較

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注意：A 系列 XRF 符合 SEMI S2、S8 標準

射線管	G系列	B系列	P系列	L系列	K系列準直/光學	O系列	M系列	W系列	一系列的
微焦點X射線陽極	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠	鎢/鉻/鉬/銠
X-ray路徑	從下往上	從上往下	從上往下	從上往下	從上往下	從上往下	從上往下	從上往下	從上往下
探測器
Si漂移檢測器(SDD)	標準版	標準版	標準版	標準版	學院：標準光學：不適用	標準版	不適用	不適用	不適用
大窗口矽漂移探測器	選配	選配	選配	選配	學院：可選光學：標準	選配	標準版	標準版	標準版
光束尺寸
單準直器	標準版	標準版	不適用	不適用	不適用	不適用	不適用	不適用	不適用
多準直器	不適用	選配	標準版	標準版	學院：標準光學：不適用	不適用	不適用	不適用	不適用
毛細管光學FWHM	不適用	不適用	不適用	選配	學院：不適用光學：15um	80um	15um	7.5um	7.5um
焦距
聚焦激光/自動聚焦	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版
單一固定焦距	標準版	標準版	不適用	不適用	學院：不適用光學：標準	標準版	標準版	標準版	標準版
可變焦深	不適用	選配	標準版	標準版	學院：標準光學：不適用	不適用	不適用	不適用	不適用
視頻放大
30X 微型	標準版	標準版	標準版	標準版	學院：標準光學：不適用	不適用	不適用	不適用	不適用
55X 微型	選配	選配	選配	選配	學院：可選光學：不適用	標準版	不適用	不適用	不適用
140X 微型	不適用	不適用	不適用	不適用	學院：不適用光學：標準	不適用	標準版	標準版	標準版
7X數碼變焦	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版	標準版
9X 微距	不適用	不適用	不適用	不適用	學院：不適用光學：標準	不適用	標準版	標準版	標準版
表格檢視	不適用	不適用	不適用	選配	學院：可選光學：標準	不適用	標準版	標準版	標準版
台面和空間尺寸
Z軸控制	Automatic 自動錶	Automatic 自動錶	Automatic 自動錶	Automatic 自動錶	Automatic 自動錶	Automatic 自動錶	Automatic 自動錶	可編程	可編程
Z軸行程	1“	5.2“	5.2“	9.75“	上口：8.75英寸光學：8.5英寸	5.2“	4.9“	3.5“	3.5“
台面	不適用	固定	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程	可編程
標配XY行程	不適用	不適用	5 6×“	10 10×“	12 12×“	5 6×“	6.5 6.5×“	12 16×“	23 23×“
選配XY行程	1.5 1.5×“	不適用	10 10×“	不適用	不適用	10 10×“	不適用	不適用	不適用
可選的Max XY Travel	不適用	不適用	16 16×“	不適用	不適用	16 16×“	16 16×“	不適用	不適用
精密	不適用	不適用	0.0004“	0.0004“	上口：0.0004英寸光學：<80u"	0.0004“	0.0001“	40u”	40u”
量測艙尺寸HWD	4x13x12“	5.5x12x13“	5.5x12x13“	10x22x24“	9x24x24“	5.5x12x13“	5.4x12x13“	4x36x29“	4x55x58“
總重量
	25kg	34kg	52 70kg	110kg	120kg	52 70kg	70kg	190kg	1000kg

系統比較圖表

系統比較圖表