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注意:A 系列 XRF 符合 SEMI S2、S8 標準
射線管 | G系列 | B系列 | P系列 | L系列 | K系列 | O系列 | M系列 | W系列 | 一系列的 |
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微焦點X射線陽極 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 |
X-ray路徑 | 從下往上 | 從上往下 | 從上往下 | 從上往下 | 從上往下 | 從上往下 | 從上往下 | 從上往下 | 從上往下 |
探測器 | |||||||||
Si漂移檢測器(SDD) | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | N / A | N / A | N / A |
大窗口矽漂移探測器 | 選配 | 選配 | 選配 | 選配 | 選配 | 選配 | 標準 | 標準 | 標準 |
光束尺寸 | |||||||||
單準直器 | 標準 | 標準 | N / A | N / A | N / A | N / A | N / A | N / A | N / A |
多準直器 | N / A | 選配 | 標準 | 標準 | 標準 | N / A | N / A | N / A | N / A |
毛細管光學FWHM | N / A | N / A | N / A | 選配 | 快將推出! | 80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
焦距 | |||||||||
聚焦激光/自動聚焦 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 |
單一固定焦距 | 標準 | 標準 | N / A | N / A | N / A | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 |
多個可變焦距 | N / A | 選配 | 標準 | 標準 | 標準 | N / A | N / A | N / A | N / A |
視頻放大 | |||||||||
30X 微型 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | N / A | N / A | N / A | N / A |
55X 微型 | 選配 | 選配 | 選配 | 選配 | 選配 | 標準 | N / A | N / A | N / A |
140X 微型 | N / A | N / A | N / A | N / A | N / A | N / A | 標準 | 標準 | 標準 |
7X數碼變焦 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 |
9X 微距 | N / A | N / A | N / A | N / A | N / A | N / A | 標準 | 標準 | 標準 |
表格檢視 | N / A | N / A | N / A | 選配 | 選配 | N / A | 標準 | 標準 | 標準 |
台面和空間尺寸 | |||||||||
Z軸控制 | Automatic 自動錶 | Automatic 自動錶 | Automatic 自動錶 | Automatic 自動錶 | Automatic 自動錶 | Automatic 自動錶 | Automatic 自動錶 | 可編程 | 可編程 |
Z軸行程 | 1“ | 5.2“ | 5.2“ | 10“ | 9“ | 5.2“ | 5.2“ | 3.9“ | 3.9“ |
台面 | N / A | 固定 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 |
標配XY行程 | N / A | N / A | 5 6ד | 10 10ד | 12 12ד | 5 6ד | 6.5 6.5ד | 12 16ד | 23 23ד |
選配XY行程 | 1.5 1.5ד | N / A | 10 10ד | N / A | N / A | 10 10ד | N / A | N / A | N / A |
可選的Max XY Travel | N / A | N / A | 16 16ד | N / A | N / A | 16 16ד | 16 16ד | N / A | N / A |
精密 | N / A | N / A | 0.0004“ | 0.0004“ | 0.0002“ | 0.0004“ | 0.0001“ | 40u” | 40u” |
量測艙尺寸HWD | 4x13x12“ | 5.5x12x13“ | 5.5x12x13“ | 11x22x24“ | 24x24x9“ | 5.5x12x13“ | 5.4x12x13“ | 4x36x29“ | 4x55x58“ |
總重量 | |||||||||
25kg | 34kg | 52 70kg | 110kg | 120kg | 52 70kg | 70kg | 190kg | 1000kg |