Mikro-RFA der A-Serie
Die Mikro-RFA der A-Serie wurde für die präzise Messung der kleinsten Röntgenmerkmale entwickelt, die in Halbleitern und Mikroelektronik zu finden sind. Es nimmt sehr große PCB-Panels oder Wafer jeder Größe auf, um eine vollständige Probenabdeckung und eine programmierbare Mehrpunkt-Automatisierung zu gewährleisten.
Die A-Serie von Bowman verwendet eine Polykapillaroptik, um den Röntgenstrahl auf 7.5 μm FWHM zu fokussieren, den weltweit kleinsten für die Schichtdickenanalyse mit XRF-Instrumenten. Eine Kamera mit 140-facher Vergrößerung wird verwendet, um Merkmale in diesem Maßstab zu messen; es wird von einer sekundären Kamera mit geringer Vergrößerung für die Live-Anzeige von Proben und die Makroansicht aus der Vogelperspektive begleitet. Mit dem Doppelkamerasystem von Bowman können Bediener das gesamte Teil sehen, auf das Bild klicken, um es mit der High-Mag-Kamera zu vergrößern, und das zu programmierende und zu messende Merkmal lokalisieren.
Ein programmierbarer XY-Tisch mit einer Bewegung von 23.6 mm (600 Zoll) in jede Richtung kann dies bewältigen
größte Proben in der Branche. Der Tisch hat eine Genauigkeit von weniger als +/- 1 μm für jede Achse und ist
wird verwendet, um mehrere Punkte auszuwählen und zu messen; Bowman-Mustererkennungssoftware und Autofokus
Funktionen tun dies auch automatisch. Die integrierte Mustererkennung des Systems kann verwendet werden, um die Topographie einer Beschichtung auf einem Teil wie einem Siliziumwafer anzuzeigen.
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Die XRF der A-Serie eignet sich hervorragend für Kunden mit diesen Testanforderungen:
- Extrem kleine Merkmale auf Halbleitern, Steckverbindern, Leiterplatten
- Große PCB-Panels
- Waffeln jeder Größe
- Fähigkeit, mehr als 2 Millionen Zählungen pro Sekunde zu verarbeiten
- Programmierbarer XY-Tisch mit 23.6-Zoll-Bewegung in jede Richtung
- 3D-Mapping-Fähigkeit
- Übereinstimmung mit IPC-4552, 4553, 4554 und 4556, ASTM B568, DIN 50987, ISO 3497 und SEMI S8
- Reinraumtauglich
Produktspezifikationen
| Element Bereich: | Aluminium 13 bis Uran 92 |
| Röntgenanregung: | 50 W Mo Target Flex-Beam Kapillaroptik bei 7.5 FWHM bei 17 KeV Optional: Cr oder W |
| Detektor: | Großes Fenster Silizium-Detektor mit 135eV-Auflösung oder besser |
| Anzahl der Analysen Schichten und Elemente: |
5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht. Zusammensetzungsanalyse von bis zu 25 Elementen gleichzeitig |
| Filter / Kollimatoren: | 4 Primärfilter |
| Ausgangs-Fokustiefe: | Bei 0.08" (2.03mm) behoben |
| Digitale Impulsverarbeitung: | 4096 CH digitaler Mehrkanalanalysator mit flexibler Formungszeit. Automatische Signalverarbeitung, einschließlich Totzeitkorrektur und Escape-Peak-Korrektur |
| Rechner: | Intel, CORE i5 Prozessor der 9. Generation (4.1 GHz), 16 GB RAM, Microsoft Windows 10 Prof, 64 Bit |
| Kamera-Optik: | 1/4″ CMOS-1280×720 VGA-Auflösung |
| Videovergrößerung: | 140-facher Mikro- und 7-facher Digitalzoom: 9-fache Makro- und Tabellenansicht |
| Energieversorgung: | 720W, 100 ~ 240 Volt; Frequenzbereich 47Hz bis 63Hz |
| Gewicht: | 1000kg (2200 lbs) |
| Arbeitsbereich: | 68° F (20° C) bis 77° F (25° C) und bis 98% RH, nicht kondensierend |
| Programmierbare XYZ: | XYZ-Federweg: 600 mm (23.6 Zoll) x 600 mm (23.6 Zoll) x 100 mm (3.9 Zoll) XY-Tischplatte: 560 mm (22 Zoll) x 585 mm (23 Zoll) X- und Y-Achsen-Präzision: 1um (40u”) Z-Achsen-Präzision: 1um (40u”) |
| Innenmaße: | Breite: 1400 mm (55″), Tiefe: 1470 mm (58″), Höhe: 100 mm (4″) |
| Außenmaße: | Höhe: 1780mm, Breite: 70mm, Tiefe: 1470mm |
| Andere neue Funktionen: | Z-Schutzarray, Autofokus, Fokuslaser, Mustererkennung, Semi S2 S8-konform |
Hergestellt in den USA